主题:【原创】不同牌子的SEM拍出来图片的倍数相差怎么就这么大?

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fengyonghe
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下面是张大同书里的一段话:

“通常电子束在扫作用下随着时间顺序沿样品X 方向通过一系列位置点1 2 3 …,见3-1, 依次对每点进行相互作用,在完成这行扫描之后,又以极短的时间回扫到第二行的起始位置, 即在Y 方向上稍微移动一个距离, 进行帧扫描,如图3 - 2 所示。这个过程重复下去,产生一帧扫描栅格,从而对整个光栅区域内的样品逐点取样。

这段话中行扫描是不是步进的意思?每步的驻留时间又是多少?

另一段话是:

“②放大倍数的变化与扫描线圈的激励有关,而与物镜激励无关。调节物镜激励使电子束会聚在样品表面,聚焦图像。操作时, 一般只需在高放大倍率下把图像调节消楚,在观察低放大倍率图像时就不需要再调焦,这对于快速连续观察样品很方便。”

这段话没有提到可能会出现“步长大于束斑”的问题。为什么?
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2012/2/16 22:39:19 Last edit by fengyonghe
蓝莓口香糖
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“一般高倍图像清楚,低倍就不需要再调焦”,这说明有时候到低倍还是需要重新调焦的。为什么同样是高倍清楚,有时候低倍需要调焦,有时候不需要?除了电路稳定性,另一个原因可能就是步长的问题。只是,这个操作太普通,没人仔细去想这个问题罢了。在电镜里,调焦是个太普通的动作。
amdk7
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我记得以前好像回复过类似的问题,其实计算公式都是一个,只不过标准不一样,日系电镜的标准是一上世纪135底片的长度除以实际扫描长度从而得到放大倍数,而现在欧系的是以屏幕的长度除以实际扫描长度得到放大倍数,这就造成了差距
fengyonghe
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
“一般高倍图像清楚,低倍就不需要再调焦”,这说明有时候到低倍还是需要重新调焦的。为什么同样是高倍清楚,有时候低倍需要调焦,有时候不需要?除了电路稳定性,另一个原因可能就是步长的问题。只是,这个操作太普通,没人仔细去想这个问题罢了。在电镜里,调焦是个太普通的动作。

当出现"步长"问题后可否调整步长使图像清晰?比如用1024×1024 。如果调整步长不起作用,那就还不能肯定是步长引起的模糊。
fengyonghe
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原文由 amdk7(amdk7) 发表:
我记得以前好像回复过类似的问题,其实计算公式都是一个,只不过标准不一样,日系电镜的标准是一上世纪135底片的长度除以实际扫描长度从而得到放大倍数,而现在欧系的是以屏幕的长度除以实际扫描长度得到放大倍数,这就造成了差距

是这样的。目前图片显示是100mm。这种算法不够严谨,因为显示器还要遮挡一部分图像。
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2012/2/22 21:05:39 Last edit by fengyonghe
蓝莓口香糖
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“一般高倍图像清楚,低倍就不需要再调焦”,这说明有时候到低倍还是需要重新调焦的。为什么同样是高倍清楚,有时候低倍需要调焦,有时候不需要?除了电路稳定性,另一个原因可能就是步长的问题。只是,这个操作太普通,没人仔细去想这个问题罢了。在电镜里,调焦是个太普通的动作。

当出现"步长"问题后可否调整步长使图像清晰?比如用1024×1024 。如果调整步长不起作用,那就还不能肯定是步长引起的模糊。

这个没试过,但是即便造成模糊的主要原因不是步长,增加采样点也会多少起到一些作用。做这样的对比实验,应该用差别比较大的步长,效果会比较明显,比如原来是128*128,增加到1024*1024。
步长的问题其实还是比较复杂的。当步长刚好够用的时候,增加采样点的数量也是有好处的,这相当于对样品上的每个物理位置重叠采样,可以降低噪音,也间接起到轻微提高分辨率的作用。另外,过采样本身就是一直提高系统分辨率的技术,在信号处理领域有广泛应用。
fengyonghe
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“一般高倍图像清楚,低倍就不需要再调焦”,这说明有时候到低倍还是需要重新调焦的。为什么同样是高倍清楚,有时候低倍需要调焦,有时候不需要?除了电路稳定性,另一个原因可能就是步长的问题。只是,这个操作太普通,没人仔细去想这个问题罢了。在电镜里,调焦是个太普通的动作。

当出现"步长"问题后可否调整步长使图像清晰?比如用1024×1024 。如果调整步长不起作用,那就还不能肯定是步长引起的模糊。

这个没试过,但是即便造成模糊的主要原因不是步长,增加采样点也会多少起到一些作用。做这样的对比实验,应该用差别比较大的步长,效果会比较明显,比如原来是128*128,增加到1024*1024。
步长的问题其实还是比较复杂的。当步长刚好够用的时候,增加采样点的数量也是有好处的,这相当于对样品上的每个物理位置重叠采样,可以降低噪音,也间接起到轻微提高分辨率的作用。另外,过采样本身就是一直提高系统分辨率的技术,在信号处理领域有广泛应用。

希望有机会把调整步长试验一下以充实步长说。
fengyonghe
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当步长大于束斑时有没有可能在显示器上形成明暗相间的图像,如下图所示。
驰奔
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原文由 amdk7(amdk7) 发表:
我记得以前好像回复过类似的问题,其实计算公式都是一个,只不过标准不一样,日系电镜的标准是一上世纪135底片的长度除以实际扫描长度从而得到放大倍数,而现在欧系的是以屏幕的长度除以实际扫描长度得到放大倍数,这就造成了差距


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蓝莓口香糖
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
当步长大于束斑时有没有可能在显示器上形成明暗相间的图像,如下图所示。

这是不可能的。对于现在的数码记录系统,图片像素是逐个排列的,一个像素对应一个扫描位置,虽然在这个位置上电子束并没有覆盖整个区域。要显示有图像区和黑暗区,那就需要两个像素来表达,但是一个扫描动作不可能对应两个像素,所以不会出现这种图像。对于CRT显示器,窗口尺寸是固定的,减小像素数,阴极射线管的扫描步长就会增大。我认为CRT生产商会在步长增大的同时适当让射线散焦,增大每个像点的发光区域,这样整个图像看起来仍然是连续的。这样的设计比较符合常理。或者,CRT不能散焦,但是有一个像素数的下限,这个下限保证了CRT上看到的图像相邻两个亮点之间总是连续的。
使用胶片照相的时候,我不知道有没有类似的散焦功能,似乎照相时的分辨率是固定的。对CRT显示器的经验比较少。
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