FEI Tecnai G2 T20 从microprobe 到 nanoprobe 的切换
1. 假设机器已按照说明书进行了正确的对中(合轴)。2. 在microprobe 下(13500倍)切换到2# C2光栏(50微米)。用常规方法对中C2光栏。3. 切换到nanoprobe模式(13500倍),spotsize调为1#。正常情况下能看到光栏和图像。按eucentric focus,确认物镜电流改为预先对中时的值。调样品高度钮Z,使样品处于标准高度。4. 倍数设为86000倍。把图像上的一个特征物(尽量取圆的或尖端)。用brightness 适当散开光斑,focus step 取4。选中direct alignment 里的rotation center。调节MF x、MF y让特征物尽量不动。这就调好了rotation center。5. 再用常规的方法对中C2光栏。要求没有microprobe模式下那么严格,基本上同心就可以了。如果要改变spotsize。则第一要看spotsize改变后,光斑是否变得不圆了。如果是,则要用condense stigma 把光斑尽量调圆。然后再看看rotation center ,方法同上。最后再用常规方法对中C2光栏。也就是说,在nanoprobe 下改变spotsize后,聚光镜像散、电流中心、C2光栏都要重调。6. 调好后,就可以把光斑会聚成一个很小很圆的光斑。就可以执行微区能谱和微区衍射了。另外,光斑散开后,样品的图象也基本清楚。7. 如要从nanoprobe切换到 microprobe,则一般只要重新对中C2光栏就可以了。以上是工程师的指导和个人的体会,与说明书上的顺序不太一样.请大家试试看,如有问题,再修改.因为我觉得这个功能很重要.用了快两年新机器了,还是掌握得不熟练.提出来让大家一起探讨.