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主题：【求助】EDS能谱仪测试时会不会有X射线泄露？

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zql2109690
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发表于：2012/03/06 16:29:16 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题。

哪位高手可以回答？ EHS外审在审我们这个问题。如有泄露的话，值是多少？

多谢了！
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2012/3/9 13:24:43 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
现代SEM大多配置了EDS探测器以进行成分分析，对岗位人员并无特殊要求，应该没有X射线泄露X射线泄露。
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2012/3/18 21:10:54 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您提到的是与电镜搭配使用的EDS（EDX）还是指单独的能量色散荧光仪EDXRF？

如果是电镜搭配使用的EDS，完全不用担心X射线泄露问题。该EDS是接收SEM腔内产生的各种信号中的X射线信号，本身是没有X射线管的。ESH检测的应该是SEM，而不是EDS。

如果是EDXRF，这个可以直接检测，但是一般情况下，厂商都有严格的控制的。
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