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主题：【求助】能谱仪漏气

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xcc_12345
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发表于：2012/03/14 16:47:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位高人，各位前辈，大家好。小女子的扫描电镜最近遇到一个大麻烦，烦请各位帮忙看能否解决。谢谢。

故障现象：能谱仪在开始抽真空时扫描电镜真空系统停止工作

结论：能谱仪存在漏气问题，因为通常情况下能谱仪在完成一次20分钟抽真空过程后，放置几天的情况下重新抽真空前其内部真空度可以保持在一个良好的范围，重新对其抽真空时电镜的真空状态会保持在“READY”状态或仅仅切换到EVAC”状态。而此设备在同样的情况下通过监测电镜真空度的变化，发现电镜真空度下降幅度很大甚至直接导致电镜真空系统停止工作，所以能谱仪存在漏气问题。
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fengyonghe
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2012/3/14 22:16:41 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是窗口漏气了只有返修。
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sysmith
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2012/3/16 23:17:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一直没弄明白JEOL的电镜自带的能谱，会和电镜抽真空有关系。以前用的能谱都是可以随时加液氮的，不用去考虑电镜的真空状态。而现在用的JEOL的电镜，需要先抽真空，然后加液氮，不然就一直报警的。

feng兄能帮着解解惑吗？
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fengyonghe
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2012/3/17 23:36:02 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sysmith(sysmith) 发表:
一直没弄明白JEOL的电镜自带的能谱，会和电镜抽真空有关系。以前用的能谱都是可以随时加液氮的，不用去考虑电镜的真空状态。而现在用的JEOL的电镜，需要先抽真空，然后加液氮，不然就一直报警的。

feng兄能帮着解解惑吗？

这个应该说是JEOL采取的安全措施。如果电镜一段时间内没有使用只是定期加液氮，久而久之能谱探头会结霜。有的能谱需要运行除霜程序。先抽真空再加液氮可以减少结霜的可能性。
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liz9121
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2012/3/19 11:11:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果需要维修可以联系我， QQ 104090858  广州泰通
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wjwels
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2012/3/28 9:51:59 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
美女，你用的是不是Oxford X-act能谱仪？用SEM真空环境来给能谱仪抽气，它如果漏了，SEM的真空就上不去了吧。
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2012/3/28 9:55:41 Last edit by wjwels
tomorrow_oneday
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2012/3/30 11:33:04 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
支持楼上的猜测。
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