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主题：请教：做SEM时，样品老被打黑怎么回事？

浏览0 回复37 电梯直达
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roce
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2006/8/3 11:05:00 31楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在low-k材料时kv数太高就易发生变黑现象
降低电压.电流与增加喷金时间皆可改善
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lyl_lin
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2006/8/7 21:23:00 32楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 braveyong 发表:
主要是由于C脏污引起的, 来源于扩散泵油


同意！
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dbmbobo
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2006/8/24 10:19:00 33楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散油帮的炭污染
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hangk2006
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2006/9/23 21:53:00 34楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做一下表面覆膜，]
导电性不好
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renxin
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2006/10/7 15:45:00 35楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议参考每周一问新三的帖子
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Last edit by RENXIN
l_feier
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2007/6/5 17:41:00 36楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品不导电和电压太高。
针对这两方面进行改善应该会有所改善
如没改善建议聚焦时先在你所要观测的图像的附近聚焦
聚焦好后移过去拍你想要的位置图片
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zhaoxj0820
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2007/7/15 14:02:00 37楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是电子束长时间轰击一个位置造成的碳污染，可以使用低电压，同时配合工作距离的调整，有条件的可以配合使用冷指，减小碳污染速度。
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