原文由 shxie 发表:
关于coma free的事情一直想当面问些同行,巧了,前几天,有机会碰到几位做TEM的同行,请教了钢铁行业里颇有经验的老师关于彗差的问题,他讲到,彗差应该是STEM上专有的一种消像差方法,说到一个Rochigram环,说这种消像差的方法校正过后,其他的消像差方法可以免做。
但时间比较紧,没有细问,具体操作还要等问他要些资料看看才行。不知道这里面是不是我听的不确切或者理解的不准确,请用过coma free校正的指点一下吧。
物镜慧差(Coma-free)的调整,被认为是比电流/压中心(通称旋转中心)更准确的物镜对中手段,有益于高质量的高分辨像,特别是对增加点分辨率的图像处理方法。因此 “彗差应该是STEM上专有的一种消像差方法”的说法不对。采用慧差调整的主要原因是旋转中心可能不是真实的物镜中心,而且其判据也太过于主观。使用慧差调整,你可以使用CCD的live-FFT。当光束在光轴两边做等角度倾斜时,从FFT上确认束倾斜诱发的离焦量和像散是否接近。这一判据至少可以被认为是半定量的。
Rochigram实际上就是衍射的阴影像(shadow image),它对STEM聚光镜像散消除起着决定性的作用。慧差和像散是两个不同的概念,消除慧差不等于消除消散,反之亦然。因此,慧差矫正之后“其他的消像差方法可以免做”,实在是过于乐观。
更何况,通常说的像散(二级像散)和慧差只是很复杂的相差的一部分。比之高级的相差有:三级像散、四级像散、球差、星形像差(star aberration)、五级像散等等。这些像差共存,且相互影响。当低级相差消除以后,高级像差的影响就凸现出来。分辨率要求越高,像差消除的级别也就需要越高。正因为如此,球差矫正器在矫正球差系数的同时,也减小其它的像差参数。