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主题：【求助】TEM屏幕上光斑边缘不锐利，有些像锯齿状，这是什么原因？

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chinabaobao
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发表于：2012/05/06 10:16:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TEM中光斑边缘不锐利，有些锯齿状，是什么原因造成的？
是不是第二聚光镜（C2）光阑脏了？上面吸附了很多脏东西引起的？
应该不是光路不对中引起的吧
各位解释一下原因，并且应该怎么处理？
谢谢
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2012/5/6 12:08:16 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我碰到过这种情况，是C2光阑的问题。有时候新光阑也会这样。电子束多打打，可能会好一点。
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chinabaobao
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2012/5/6 14:39:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这样有一段时间了，C2选2号光阑最严重，选3好光阑好一点儿，我怀疑是C2脏了
为什么电子束多打打就好了呢？
这种效果是逐渐形成的，天天电子束在打，没有变好，而是逐渐严重的，又怎么解释？
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iamikaruk
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2012/5/6 22:59:24 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
光阑脏了
平时真空不太好？
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chinabaobao
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2012/5/7 9:41:08 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
平时真空很不错的，每天加冷阱，烘液氮
为什么还会脏呢？
不得其解
各位继续讨论
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2012/5/7 11:24:37 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
加液氮按理来说应该不错啊
我见过的是一直不加液氮C2光阑就会变成这样
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大布口袋
taboo
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2012/5/7 20:02:34 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
老电镜 聚光镜光阑是会这样子的
我见过比这个还严重的
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洪星二锅头
coime
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2012/5/7 20:18:33 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
老电镜 聚光镜光阑是会这样子的
我见过比这个还严重的


啊，我以为是是光阑脏了呢，是什么原因造成的
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蓝莓口香糖
drizzlemiao
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2012/5/7 21:05:19 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
难道是电子束轰击？
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大布口袋
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2012/5/7 22:22:41 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我个人也觉得是光阑脏了

因为C2 用150mm的时候 完全正常 边缘很平滑呈圆形

用比较小的时候比如100mm或者更小 则呈现严重的锯齿状

具体原因 我估计还需要有知道的来解释下

新电镜里 我没见到这种情况 一般都是比较老的电镜里会有这种情况

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
老电镜 聚光镜光阑是会这样子的
我见过比这个还严重的


啊，我以为是是光阑脏了呢，是什么原因造成的
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chinabaobao
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2012/5/8 8:44:09 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
昨天问了一下售后工程师，也是说光阑脏了，可以用电子束打一打试试，不过会出现两种可能结果，一是变好了，这是期望的，另一种变得更严重了，这样就悲催了
不过光阑这样不影响成像，工程师建议到不能忍受的时候就更换新的。
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