按照之前各位专家的指导方案,配气采用如下方法。
(1)
空气压缩机出口安装调压阀,将压力调在一个压力值。空气通过碱石灰和除水剂后,通过稳压阀稳定压力,再用针阀调节流量。
(2)CO2气路与之相同,只是气源出口的位置装的是减压阀,后面也是稳压阀和针阀。
(3)两路气体在缓冲瓶混合,出来以后接一个旁路,用红外检测器(lico7000)测混合气体CO2含量。
简单的说,就是按照
“减压阀+稳压阀+针阀”的方法。
24小时运行的结果见附件。画圈的部分是对钢瓶的减压阀压力进行调节的时间点,其他地方任其自动运行,没有调节。
现在有这样几个问题想请教各位专家。
(1)虽然所配气体CO2浓度波动相比之前有明显减小,但是仍然存在一个幅度约20-40ppm的波动。是否有办法进一步减小这个波动,使之更稳定。
(2)在流量的调节上,使用的是针阀而不是稳流阀。这是因为稳流阀没有大流量气体的规格的,最大只能控制2l/min。而空气路流量通常要大于这个流量。如果使用稳流阀代替针阀,配气效果会不会更好一些。
(3)前两天借来两台MFC,北京七星的,量程分别为10SLM和10SCCM。想问一下所通气体要怎样净化,我现在只是在净化管口放一些棉花。还是说要使用专门的过滤器。听说这种是精密仪器,又是借的,给弄坏了就不好了。
因为我不是学化学的,过程中肯定还有其他疏漏和错误之处,也请各位专家一并指出。
非常感谢!