主题:有关ICP-MS的问题,请教,急!

浏览0 回复10 电梯直达
xianxw
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一固体样品(SI基体),溶解后ICP-MS测试得出CU浓度约为1PPB,但该样品用TXRF直接扫描表面得出CU浓度为10PPT级,用SIMS测试得出CU浓度在此两者之间.
但现在老外认为该样品中含CL,浓度约为1PPM,SI-CL对CU有影响,故ICP-MS不适合做此类样品.
疑问:1)SI-CL的影响有这么大吗?因为我已用GFAAS确认,与ICP-MS所得结果一致.相反TXRF仅能测试表面,我倒认为结果不可靠.
   2)如何设计实验方案来验证?(此种样品量极少,每一样品仅能预处理一次,可得到约1.5ML溶解样,没办法对同一样品进行多次处理)

请教!谢谢!
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shdevice
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楼主,你那里有ICP-MS?能否对外提供测试服务?SI基样品检测B(0.1ppm水平)
yuf1978
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XFR,只提供初筛的不能提供准确定量,1ppb可以用AA做啊
独行侠
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你已经用GFAAS验证了,又都是溶液进样,差不多有一定的说服力.TXRF表面分析或许有样品不均匀性和标准样品问题,以及含量低或许有很大的误差.在1PPB的话,是不是可以用GD-MS来验证一下,但同样是固体进样.
xianxw
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一般不对外,因为光公司样品都来不及做,而且我们公司是制造业的,24小时仪器需随时待命。
可请提供样品详细情况。若样品为液体,金属浓度较低的(<1ppb)可以考虑外接,
xianxw
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不光已用AA验证,SIMS都做过.AA是我们自己做的,SIMS是老美做的,ICP-MS我们和老美都做过.都一样.但现在老美做TXRF的公司提出此干扰疑问,而老美做ICP-MS的公司虽对此不以为然,但不肯给确切答复,非说要进一步做实验才行,气死我了.
xiaomuyangzi
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有没有可能是Si28和Cl35.5形成SiCl多原子离子,在Cu63.5的位置形成谱图叠加,出现干扰
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Last edit by xiaomuyangzi
shangchuan
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你很专业 你是买DG/MS的? 你设计的验证路线是正确的.他们单位很有钱哟!!!
zsdzsdzsd
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原文由 XIANXW 发表:
一固体样品(SI基体),溶解后ICP-MS测试得出CU浓度约为1PPB,但该样品用TXRF直接扫描表面得出CU浓度为10PPT级,用SIMS测试得出CU浓度在此两者之间.
但现在老外认为该样品中含CL,浓度约为1PPM,SI-CL对CU有影响,故ICP-MS不适合做此类样品.
疑问:1)SI-CL的影响有这么大吗?因为我已用GFAAS确认,与ICP-MS所得结果一致.相反TXRF仅能测试表面,我倒认为结果不可靠.
   2)如何设计实验方案来验证?(此种样品量极少,每一样品仅能预处理一次,可得到约1.5ML溶解样,没办法对同一样品进行多次处理)

请教!谢谢!

ICP-MS做的是总体的浓度,TXRF和SIMS做的都是表面的浓度,这样做根本没有办法比较的.GFAAS也是将固体处理成溶液做的总体浓度.
主要要看你要做什么分析,如果是整个物质的成分,用ICP-MS,如果是表面的,就必须用SIMS或者其他方法了。
因为半导体由于工艺不同,可以在表面形成很复杂的表面组成.厚度可以在NM到UM之间.而且可以有多层结构.每一层的成分可以变化很大的.
tabtab
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HRESolution
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能不能拿同一个已知的标准品制备成1ppb和10ppt,用两种方法做个比对。ICP的确会有多原子这样的质谱干扰。
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