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主题：【求助】多晶硅尾气分析

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liaohongmei011
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发表于：2012/06/15 20:22:22 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

请教大家对多晶硅还原进气和尾气都是用什么分析的。用什么取样装置呢？

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2012/6/15 21:36:24 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分析的是什么物质啊
sihcl 这类物质吗

TCD  DC550  OK
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liaohongmei011
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2012/6/19 20:33:22 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还原炉尾气温度高如何取得真实样品。
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sodaba
yuanyao9394
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2012/6/20 10:27:32 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 liaohongmei011(liaohongmei011) 发表:

请教大家对多晶硅还原进气和尾气都是用什么分析的。用什么取样装置呢？

你采用的是西门子法吗？回收气可以采用GC-TCD分析，柱子采用弱极性的DB-1701.因为你的为尾气里有H2，三氯氢硅，HCL以及一些烷烃。采样的话就采用锡箔袋吧！  有些厂家采用的在线分析。
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liaohongmei011
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2012/6/20 20:49:26 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问标准气用的是什么呢？
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