实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042132今日发帖：421 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
其他仪器综合讨论
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：ICP-MS能检测固体晶体（如单晶硅）中的碳原子含量及B,P,As,Al,Sb,Ga的含量吗？（C为ppm级；其它的元素为亚ppb级）如果可以还需要其他仪器来

浏览0 回复2 电梯直达
huangdwen
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2003/03/21 11:15:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ICP-MS能检测固体晶体（如单晶硅）中的碳原子含量及B,P,As,Al,Sb,Ga的含量吗？（C为ppm级；其它的元素为亚ppb级）如果可以还需要其他仪器来联用吗？
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: ICP-MS电感耦合等离子体质谱 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
相关阅读
binfu
binfu
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2003/3/23 12:28:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
答：可以。激光烧蚀进样装置与ICP-MS联用可检测固体样品中的元素。其原理是：<br>
高能量的激光束经过聚焦后照射在样品表面，熔融并蒸发样品表面微区，产生的蒸气和细微颗粒与从样品室底部以切线方向引入的环绕样品的氩气流形成气溶胶，从样品室的顶部或侧面引出，由连接管引至ICP炬管（去除雾化器和雾室）中被原子化、离子化。<br>
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
xsh1234567
xsh1234567
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2008/3/25 9:28:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 binfu 发表:
答：可以。激光烧蚀进样装置与ICP-MS联用可检测固体样品中的元素。其原理是：<br>
高能量的激光束经过聚焦后照射在样品表面，熔融并蒸发样品表面微区，产生的蒸气和细微颗粒与从样品室底部以切线方向引入的环绕样品的氩气流形成气溶胶，从样品室的顶部或侧面引出，由连接管引至ICP炬管（去除雾化器和雾室）中被原子化、离子化。<br>


明显瞎掰，试问现在国内或者国外的哪家硅厂用LA-ICPMS来测元素杂质含量的？且不说没有标样的问题，四极杆类型的MS对磷元素的检测，根本就无法区别干扰，还不如其他的仪器。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： ICP-MS能检测固体晶体（如单晶硅）中的碳原子含量及B,P,As,Al,Sb,Ga的含量吗？（C为ppm级；其它的元素为亚ppb级）如果可以还需要其他仪器来
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁