主题:求助!RF等离子体下起辉的问题

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hanxinann
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高频等离子体源条件下,起辉不稳定该怎么办呀?更换哪些参数有用?自从上次起辉到现在已有些日子,最近检查了电路,也换了反应器但仍不见起辉,哪位高手帮帮忙,指点下迷津啊~~~~~~
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george_niu
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很多原因了,如真空度,电容的匹配都会影响。其中电容不匹配是“点不着“的主要原因,因此建议您再购买仪器,最好购买自动网络匹配的,会好一点。
whwsm505
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购买自动网络匹配的当然是最好的办法,但价格较高。我的经验是仔细调节两个调节电容的匹配,动作不能太大,一旦找到合适的位置们以后的调节量就很小了,我遇到过这样的事情多次了。
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