主题:求助!没有电子束啊,高真空上部去,各位务必帮帮忙啊

浏览0 回复9 电梯直达
ryjysu
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悬赏金额:20积分 状态: 未解决
电镜型号KYKY-2800,没有电子束,高真空也抽不上去,我把可能的情况都查找了,也没找到原因,是不是因为真空度的原因啊,连把物镜光阑弄出来都试了,也不行啊,各位给点建议啊
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daqiang
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天黑请闭眼
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ryjysu
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wdliu_1
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高真空都抽不上去,当然没有电子束。原因可能有两个,一是哪个部位漏气了,另外你检查一下扩散泵,是不是电炉丝或连线断掉了。
ryjysu
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annelugel
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真空度没到,肯定没法加高压的。如果泵都没问题,就检查下是否有漏气吧。两个地方,样品室和枪体部分都要注意到。有一个地方漏高压都没法加的。检查方法也很简单,先连着抽3小时真空(高真空),然后放置8小时(不抽真空),看真空度是否会>250pa,如果>250PA,那不用怀疑,机器某部分漏气了。
sunnysky
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首先按楼上的办法查查有没有漏,如果没有的话,再查真空计的设定点是否漂移,再检查扩散泵油是否该换了
shuzheng
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不知你的问题解决没有?前几天我们的电镜也有类似问题,工程师建议把钨灯室下面的密封圈再涂些真空脂,试后果然可以.你可以试试.
netasp
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