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发表于：2012/08/13 16:17:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：MATSUYAMA  TOMOYUKI (Nikon Kaihatsuhombu)
【题名】：The newest lithography-focusing on  immersion lithography. Polalized-light illumination and ultra-high NA  imaging
【期刊】：J-EAST
【年、卷、期、起止页码】： VOL.;NO.308;PAGE.768-772(2005)
【链接】：http://sciencelinks.jp/j-east/article/200517/000020051705A0604126.php
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