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主题：离子显微镜

浏览0 回复3 电梯直达
hank_xu
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发表于：2006/05/18 11:13:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位,我想请问一下离子显微镜和电子显微镜之间的差别是什么呀?为什么我这里都是叫离子显微镜呢?
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2006/5/18 13:42:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没听过这个咚咚
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zhp5238
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2006/5/23 20:53:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.
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renxin
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2006/10/7 16:27:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhp5238 发表:
应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.

大错特错。
FIB是离子筒，是附加在使用电子筒的电镜上的，直接利用离子束的离子镜现在全球只有一家能做。
离子镜的分辨率要比电镜的好得多。
我会单开一个帖子， 专门讨论离子镜，叫ANASPEC每周一问新五。
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