主题:【第六届原创】超低加速电压才是王道~SBA-15分子筛观察条件筛选

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蓝莓口香糖
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Nova的物镜好象有无漏磁和浸没两种工作模式,这是硬件选配,还是同一个硬件自由切换?这个帖子的照片是哪种模式下拍的?
asahi42
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
Nova的物镜好象有无漏磁和浸没两种工作模式,这是硬件选配,还是同一个硬件自由切换?这个帖子的照片是哪种模式下拍的?


Nova标配两套物镜系统,您说的无漏磁是第一种模式,外透镜模式,特点是大视野;您说的浸没是第二种模式,半浸没透镜模式,特点是超高分辨。可自由切换。本帖是在半浸没透镜模式下完成的。
asahi42
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
这台电镜电子枪的引出电压和gun lens电压是多少?


您的gun lens电压指的是哪个电压?

引出电压每台机器都不一样的,只能用来判断本机灯丝是否还能使用,对其它机台参考价值不大。
asahi42
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
这台电镜电子枪的引出电压和gun lens电压是多少?


您的gun lens电压指的是哪个电压?

引出电压每台机器都不一样的,只能用来判断本机灯丝是否还能使用,对其它机台参考价值不大。
蓝莓口香糖
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我对场发射枪的理解多数是从透射电镜拿过来的。透射的场发射枪灯丝下面有A1阳极引出电子,然后是A2阳极对电子进行初步会聚,形成电子束第一个交点。A2在FEI的资料里称为gun lens。然后电子进入加速区进行加速。加速区两端的电压就是通常所说的HT。但是,刚刚了解到,扫描的电子枪和透射的可能结构不同,也许不存在A2。
问这个问题是因为最近在考虑电子能量的一些细节。根据上面的说法,电子在从灯丝逸出之后,经过了A1和A2两次加速,然后进入加速区。电子的能量实际上是HT再加上灯丝到加速区入口这一段。A1和A2相对于灯丝的电位比较明确,现在不清楚A2和加速区入口处的相对电位高低。所以也就不清楚电子的实际最终能量是多少。对于透射,这个问题似乎不那么重要,毕竟加速电压有200kV,轻微的偏差没有明显影响。但是在低压扫描的情况下,HT低于1kV,而A1是2-3kV的量级,那么这些前端阳极的实际电位对电子的最终能量的影响就非常重要了。如果HT确实是电子从物镜出口射出的实际能量,那么就说明在A2(如果A2不存在,那就是A1到加速区入口处存在一个几千伏左右的电势降落,这样的话,电子在进入加速区之前还能形成第一次交点吗?)
这个问题我问过不少人,包括多个公司的技术人员,有的还给我看了电路图和结构图,但是答案不一致。电路图上并不能直接看出这样的细节。关于A2和入口电位的相对高低,各种说法都有。
fengyonghe
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场发射电子枪没有交叉斑d0 ,图3-9高压是阳极与栅极之间的电压,样品台是零伏,栅极是负高压。图3-14高压是第二阳极与地之间的电压,也是负高压。第一阳极有5Kv的电压。图3-9实际上阳极与样品台同时接地是等电位。  场发射电子枪没有势垒所以才能实现低电压操作。
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2013/3/9 2:46:51 Last edit by fengyonghe
fengyonghe
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根据有关叙述,场发射电子枪A1电压实际是灯丝的负高压提供的。A2是接地的,与样品台形成实际的使用的高压,样品台接地为零伏。
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2013/4/5 21:40:22 Last edit by fengyonghe
fengyonghe
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在使用过程中第二阳极电位变化非常大,其负值从几百伏到负30 千伏,这样一来第二阳极电位有时比第一阳极正一些,更多的是比第一阳极更负的多,最多负到25千伏。事实上并没有对电子形成势垒。关于这一点找不到明确的论述。我觉得原理可能是阴极灯丝与第一阳极之间的电压是悬浮电压,这才能使第一阳极和第二阳极之间没有势垒可言。个人理解觉得有点靠谱。
fengyonghe
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最近又看到一个场发射电子枪的资料,电路比较清楚,如下:



可见阴极与第一阳极之间的电压确是悬浮电压。第二阳极接地,与样品台、外壳等同为零伏。电子束在阴极与第二阳极间完成加速,电子束离开阳极后进入零电位区。
蓝莓口香糖
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可能扫描和透射的电子枪结构确实差别比较大。透射电镜除了第二阳极之外,还需要一个加速场。
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