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主题：求救：SEM抽真空时，有异味，声音是那种破响的声音，有没有那位大虾指教一下！

浏览0 回复9 电梯直达
xuexinrui
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发表于：2006/06/21 08:24:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题如题，还请赐教
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2006/6/21 8:37:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
异味可能是机械泵油雾分离器没有过滤掉的油雾味
破响的声音不知道是什么样子的声音
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xuexinrui
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2006/6/21 8:39:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就是那种嘶哑的但感觉抖动比较大的声音
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angel8201
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2006/6/26 15:55:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会是真空泵里面的油该换了？或者真空样品室的密封性不好了，猜测：）
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angel8201
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2006/6/26 15:56:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会是真空泵里面的油该换了？或者真空样品室的密封性不好了，猜测：）
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sunnysky
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2006/6/27 11:05:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是真空系统有较大泄漏,可以先查样品室门的密封圈
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xuexinrui
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2006/6/27 14:40:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品室的密封应该没有问题的 ，不过说到油虽然很久没有换，但是油还是很清亮的，所以我想也不会是油的问题吧
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sunnysky
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2006/6/29 10:52:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果抽真空正常的话,检查一下机械泵的油过滤器是不是该换了,有声音的话是不是过滤器松动了
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2006/6/29 14:29:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问要怎样检查呢？要打开吗？我还没有打开过，不知道会不会出现什么问题呢？
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doriszhang
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2011/8/28 21:55:19 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 (xuexinrui) 发表:
问题如题，还请赐教

楼主，你那个sem 是什么味道啊？我们实验室里不知道这两天哪来的恶臭味，希望不是sem散发的啊
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