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主题：【第六届原创】超低加速电压才是王道~SBA-15分子筛观察条件筛选

浏览0 回复137 电梯直达
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天黑请闭眼
shxie
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2013/1/9 16:07:28 61楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
原文由 RoadCH(roadch) 发表:
这分子筛图像相当不错啊！asahi42以后可以作为FEI扫描电镜的代言人了，看到你的实验结果就知道FEI的SEM能拍到什么程度。

另外问一下：TLD探头和CBS探头信号可以混合吗？


可以的~RoadCH，那啥因为是两个探头，所以可以同时成像，第一第二象限成像完了以后可以在第三象限做任意比例混合~^_^

你也代表了Hitachi的国内最专业水准呀~


原来有这个功能？我还念叨4800可以任意比例混合SE和BSE信号呢，这下自己也可以试试了。
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天黑请闭眼
shxie
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2013/1/9 16:08:10 62楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
又：你们俩有互相吹捧的嫌疑啊..........
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溺水虾米
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2013/1/9 16:51:25 63楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看起来挺好看的，就是不懂，呵呵。照片拍到的是分子么？
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asahi42
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2013/1/9 17:00:14 64楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
又：你们俩有互相吹捧的嫌疑啊..........


不是互相吹捧，是互相鼓励啦~
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2013/1/9 17:00:44 Last edit by asahi42
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2013/1/9 21:00:01 65楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RoadCH(roadch) 发表:
看图像中只显示TLD探头或CBS探头，也有可能Probe Current等参数值设置会差异较大，混合图像不知有没有意义？
按道理应该是TLD探头分辨率高，工作距离也能调到更近，但感觉信噪比和清晰程度不如CBS探头，
我猜有可能是两种原因：
1、TLD探头接收SE信号，图像有轻微放电现象，造成立体感损失；而CBS探头接受较高能量BSE信号，不放电
2、样品在溶液超声波制备过后，表面残留污染，SE信号来自极表面信号，受污染层影响清晰度；而CBS探头接受较高能量信号，受污染层影响小。

请asahi42专家帮忙解答一下。


呵呵，RoadCH考虑得相当周全，也相当的合理。在结构和位置上看，FEI的TLD探头和Hitachi的上探头，FEI的CBS探头和Hitachi的PDBSE探头或者YAG探头，都有异曲同工之妙~如你所言，TLD探头接收带荷电的SE信号，CBS探头接收不带荷电的BSE信号。而且TLD探头为闪烁体，响应相当快；CBS探头为半导体，响应速度略逊一筹。所以TLD探头这次用的是快扫积分+漂移校正以避免荷电干扰，CBS探头用单帧慢扫以增加图像信噪比。

这次主要追求一个比较高的分辨率，因此无论是TLD探头还是CBS探头，所用的束流都非常小。另外CBS探头在物镜极靴下，TLD探头在物镜极靴内，虽然TLD探头能够达到一个非常小的WD，但是实际距离而言，CBS离样品的距离更近些。

快扫+探头离样品距离远，是导致此次TLD探头清晰程度比CBS探头略差的主要原因。
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天黑请闭眼
shxie
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2013/1/10 8:12:51 66楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
顺路再问一个：为什么BSE信号不受荷电影响，主要就是BSE的能量高么？那么究竟两者有多大量级的差异呢？
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RoadCH
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2013/1/10 8:48:39 67楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
荷电原因是由于不导电样品表面积累负电荷形成的电势场干扰入射电子和信号电子，轻微荷电的情况下能量高的信号电子受影响小，SE能量绝大多数在100eV以内，而BSE能量接近入射电子能量，自然就受荷电影响小。

像CBS这样的半导体背散射电子探测器按道理讲对1kV以下的低能量BSE信号成像信噪比不会太好，但FEI的Nova居然可以在减速模式下使用CBS，使得低能量背散射电子加上反向减速场，能量大幅提高，信噪比相当不错。

当然这也和楼主asahi42合适的样品前处理方法、恰当的电镜参数选择，以及高超的操作技巧分不开的。FEI的Nova在中国也卖了不少了，之前真没见过这么好的图像效果。

原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
顺路再问一个：为什么BSE信号不受荷电影响，主要就是BSE的能量高么？那么究竟两者有多大量级的差异呢？
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gsys
v2664607
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2013/1/10 10:33:25 68楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同意RoadCH的说法。
所谓荷电是指样品表面产生的电子在样品表面没有合适的通路而堆积形成负电位从而排斥入射的负电位电子导致的。二次电子由于能量低，大都是在样品表面20nm以内产生；而背散射电子是入射电子与样品中原子核发生弹性或者非弹性散射后再次射出表面的电子，它一般在样品内作用深度较深，逸出表面时有较大的动能，所以不容易在表面堆积。因此，背散射电子图像对减少荷电有较明显效果。
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asahi42
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2013/1/10 10:40:21 69楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
顺路再问一个：为什么BSE信号不受荷电影响，主要就是BSE的能量高么？那么究竟两者有多大量级的差异呢？


RoadCH观点：

荷电原因是由于不导电样品表面积累负电荷形成的电势场干扰入射电子和信号电子，轻微荷电的情况下能量高的信号电子受影响小，SE能量绝大多数在100eV以内，而BSE能量接近入射电子能量，自然就受荷电影响小。

像CBS这样的半导体背散射电子探测器按道理讲对1kV以下的低能量BSE信号成像信噪比不会太好，但FEI的Nova居然可以在减速模式下使用CBS，使得低能量背散射电子加上反向减速场，能量大幅提高，信噪比相当不错。

正解！
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小M
mitchell_dyzy
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2013/1/13 18:15:22 70楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 linzq(linzq) 发表:

呵呵，是呀，不过我们国家有许多地方拥有许许多多的各厂家电镜。看机会去做做访问学者，玩玩他们那里的电镜。不过每次去可能先要做保养。不晓得那些电镜给学生破坏成啥样。


如果原先使用积累了一些损害，保养有用吗？我觉得一般是不可逆的啊，而且似乎也没有什么好的保养办法，要靠平时使用的时候持续保养才行吧。
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