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主题：【求助】那个有机溶剂的折射率较大（最好大于1.6），并且较便宜，毒性小？

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iak-47
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发表于：2006/06/06 11:35:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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那个有机溶剂的折射率较大（最好大于1.6），并且较便宜，毒性小？当然后面俩个只是附加条件！谢谢！！
推荐答案：cxshouse回复于2006/06/06
大于1.6的不多阿，大多在1.4左右。

聚合物大于1.6的可能有。
补充答案：

醋老西回复于2006/06/08

日本JSR面向浸液ArF（氟化氩）曝光用途开发成功折射率为1.64的高折射率液体后，在业界引起了轰动。最近美国杜邦公司也开发出了折射率为1.644、吸光率为0.083/cm的高折射率液体。在“第30届SPIE微蚀刻技术国际研讨会”的有关浸液材料联合研讨会上进行了技术发表。

杜邦此次开发出了多种折射率超过1.6的液体。其中吸光率最低的为“IF132”液体，对光波长193nm的折射率为1.644，吸光率为0.083/cm。另外，折射率最高的“IF175”实现了1.664的折射率。该公司表示，使用“IF131”（折射率为1.642，吸光率为0.17/cm）和IF132，利用荷兰ASML公司的双光束干涉曝光装置，对线宽/线间隔为32nm的图案进行了成像。
    　　
单从折射率与透过率的数字来看，杜邦开发的产品与JSR发表的折射率（1.64）和透过率（98%）非常接近。不过，由于杜邦没有公布其与光刻胶的反应性能、折射率的再现性、液体粘度以及表面张力等浸液曝光材料所需的各种特性数据，因此很多技术人员认为，该技术的实力到底如何目前还不清楚。另外，材料的详情也没有公布，不过有猜测说可能是氟类有机溶剂。


gardener回复于2006/06/08

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2006/6/6 12:03:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大于1.6的不多阿，大多在1.4左右。

聚合物大于1.6的可能有。
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醋老西
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2006/6/8 11:43:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
日本JSR面向浸液ArF（氟化氩）曝光用途开发成功折射率为1.64的高折射率液体后，在业界引起了轰动。最近美国杜邦公司也开发出了折射率为1.644、吸光率为0.083/cm的高折射率液体。在“第30届SPIE微蚀刻技术国际研讨会”的有关浸液材料联合研讨会上进行了技术发表。

杜邦此次开发出了多种折射率超过1.6的液体。其中吸光率最低的为“IF132”液体，对光波长193nm的折射率为1.644，吸光率为0.083/cm。另外，折射率最高的“IF175”实现了1.664的折射率。该公司表示，使用“IF131”（折射率为1.642，吸光率为0.17/cm）和IF132，利用荷兰ASML公司的双光束干涉曝光装置，对线宽/线间隔为32nm的图案进行了成像。
    　　
单从折射率与透过率的数字来看，杜邦开发的产品与JSR发表的折射率（1.64）和透过率（98%）非常接近。不过，由于杜邦没有公布其与光刻胶的反应性能、折射率的再现性、液体粘度以及表面张力等浸液曝光材料所需的各种特性数据，因此很多技术人员认为，该技术的实力到底如何目前还不清楚。另外，材料的详情也没有公布，不过有猜测说可能是氟类有机溶剂。


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2006/6/8 15:28:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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