主题:EDS的分析深度?

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tcl123
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用SEM中的EDS做元素面扫描,其反映的是多少深度的信息?
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123456789a
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tcl123
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原文由 123456789a 发表:
為了積分!為了積分!為了積分!為了積分!

什么意思?
我不是为了什么积分,请教一个问题有什么不对?
xlbmcr
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lecoo
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轻元素比较深,重元素相对较浅。
具体书上有公式计算。和加速电压,元素的吸收系数等有关系。
一般在几微米左右,重元素可能在几百纳米。
手机版: EDS的分析深度?
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