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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【分享】STEM下纳米尺度特征的元素面分布图

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fengyonghe
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2013/2/23 18:38:07 32楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sept(sept) 发表:
牛津仪器能谱仪目前最大的晶体是150mm2。在扫描电镜上采集到最小颗粒是23nm左右


也许要是薄试样吗？厚试样能达到这个水平吗？
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天黑请闭眼
shxie
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2013/2/23 20:58:19 33楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

计算一下这个面扫描束斑设置是0.5-1nm ，充分体现了透射电镜80mm^2能谱的威力。


请问这个是怎么推算的呢？
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fengyonghe
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2013/2/23 23:23:15 34楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sept(sept) 发表:
牛津仪器能谱仪目前最大的晶体是150mm2。在扫描电镜上采集到最小颗粒是23nm左右


用150mm^2的晶体，高压加到略大于吸收变，对重金属而言可以实现23nm探测；对轻元素而言可以实现12nm探测。
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fengyonghe
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2013/2/24 0:23:54 35楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

计算一下这个面扫描束斑设置是0.5-1nm ，充分体现了透射电镜80mm^2能谱的威力。


请问这个是怎么推算的呢？


1，找一张你感兴趣的面扫描，用增加像素的方法放大到满意为止，如下图

2，算出标尺的放大倍数，现在是3716666倍

3，找一个孤立的边界清楚的扫描点并量出宽度。现在是3.1mm

4，3.1mm／3716666=0.83nm  考虑到一些不确定因素所以说束斑是0.5-1nm

这是利用photoshop的一些功能做的，首先要矫正photoshop的像素值使做出的图像大小符合实测大小。也可以说使像素大小等于屏幕分辨率的物理大小。如图



测量长度时在photoshop中利用选区-复制-新建-粘贴-图像大小-宽度，这就尽量精确些了。如图



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2013/2/24 0:41:43 Last edit by fengyonghe
天黑请闭眼
shxie
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2013/2/24 0:32:32 36楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了！十分感谢！
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毒菇九剑
sshlxf
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2013/2/26 10:27:12 37楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Amy_luo(v2678410) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 Amy_luo(v2678410) 发表:
原文由 sept(sept) 发表:
如果需要全文，请at我


很厉害，那个缝隙是4.35nm的，牛的

能给我文章吗？学习一下啊


透射电镜观察到几个nm应该是轻而易举的事情，反倒是能谱的分辨率只有1-几个微米。


这个是在透射上的STEM做的呀，我还以为是扫描的STEM呢

不过也很清楚的说咧


SEM上的STEM也是有可能做到的。年前听说硅所用SEM上的STEM+80mm2的能谱得到几个nm的空间分辨率的Mapping结果，过两天抽空去看看。之前见到他们做的十几个nm的Mapping，还是很容易的，比TEM 的STEM操作要简单。
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2013/2/26 10:38:27 Last edit by sshlxf
天黑请闭眼
shxie
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2013/2/26 12:52:42 38楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 毒菇九剑(sshlxf) 发表:
SEM上的STEM也是有可能做到的。年前听说硅所用SEM上的STEM+80mm2的能谱得到几个nm的空间分辨率的Mapping结果，过两天抽空去看看。之前见到他们做的十几个nm的Mapping，还是很容易的，比TEM 的STEM操作要简单。


但只能用STEM，用通网做载体吧？
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天黑请闭眼
shxie
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2013/2/26 12:53:24 39楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
顺便景仰一下W老师的功力。
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2013/2/26 12:54:26 40楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
顺便景仰一下w老师的功力！
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sept
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2013/2/27 10:58:46 41楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
他们那个扫描的stem我也有图片，要看么，呵呵
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