主题：【求助】请教XPS仪器参数所表示含义

1）单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W  这后面最大100瓦指得是物理含义。
100W指X-Ray功率，功率越大灵敏度越高，但是功率过大会影响阳极靶使用寿命。通过你给的数据，可以推测出事用PHI 5000 Versaprobe II型号XPS测试，此为此款的高能模式，通常用来检测低含量元素。

2）Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米，实测以100微米检测好不好？
测试束斑大小通常和你关注的空间分辨率有关，如果你想看几十微米的区域，选择用小束斑，但如果你关注大面积的元素及化学状态的分布，就没有必要选择小束斑的X-ray，因为束斑越小，光电子产额越少，信号强度越低。此款的高能模式预设的X-ray直径为100微米。用电子枪快速在阳极靶扫描产生X-ray射线，扫描的长度为1.4mm。

3）Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的？

take off angle指探测器与样品法线间的夹角，这个和光电子强度以及信号来源深度有关系，这个指标与你测得样品特性可能无关，不用在意。

4） Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么，这个值是大还是小了？

通过能是指减速后通过能量分析器的电子能量。此项指标越高，灵敏度越好，能量分辨率越差，反之则灵敏度降低，能量分辨率提高。PHI 5000 Versaprobe II的通能范围为2.95~187ev。是大是小要看你是否能够区分你要测试的元素及其化学状态的信息。

5）Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准，0.59eV是大还是小；是否还有其它的分辨率作基准的？

Ag作为标准样品来检测仪器的能量分辨率。此款的极限能量分辨率为Ag3d5/2 peak 小于0.5ev。是否合适同样还是要看你需要测试的元素及化学状态是否能分开。

原文由 bairuizheng(bairuizheng) 发表:
我作了XPS检测。检测机构给出了仪器表述，其中有几个地方不明，请教各位老师/专家

1）单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W  这后面最大100瓦指得是物理含义。

2）Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米，实测以100微米检测好不好？

3）Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的？

4） Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么，这个值是大还是小了？

5）Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准，0.59eV是大还是小；是否还有其它的分辨率作基准的？

谢谢，急！

顺便问一下，你是从哪里测的？我已经回复你的问题，可到所发的帖子中查阅。

首先谢谢这位老师/专家的非常到位的专业回答。
1）X-ray功率100W是否是指运行X射线发生器的功率还是其它？

4）是在分辨Ag（0）和Ag（I）时用的带通能量，取这个值是否可以分出？最佳取多大？
5）如按老师您所说的可以窄过0.5eV, 那是所用0.59eV是否足以分开Ag（0）和Ag（I）？

测试在香港科技园。仪器：ESCA microprobe (Model: Quantum 2000, Manufacturer: Physical Electronics)。是否和老师说的PHI 5000 Versaprobe II型是一款吗？

还请帮忙，非常谢谢！

原文由 bairuizheng(bairuizheng) 发表:
首先谢谢这位老师/专家的非常到位的专业回答。
1）X-ray功率100W是否是指运行X射线发生器的功率还是其它？

是指轰击Al阳极靶电子束的能量。

4）是在分辨Ag（0）和Ag（I）时用的带通能量，取这个值是否可以分出？最佳取多大？

Ag（0）峰位在368.2eV,Ag(I)的峰位会随与它结合的基团不同而变化，如果是Ag2S 或AgSO4就比较难分辨，如果你知道里面有金属Ag，可以先固定一个峰位，看看是否可以用分峰软件分出另外一个峰的位置。
5）如按老师您所说的可以窄过0.5eV, 那是所用0.59eV是否足以分开Ag（0）和Ag（I）？

两个峰挨的太紧，必须用分峰软件处理，可以尝试做做看，仪器自带的multipak软件可以做这样的工作。

测试在香港科技园。仪器：ESCA microprobe (Model: Quantum 2000, Manufacturer: Physical Electronics)。是否和老师说的PHI 5000 Versaprobe II型是一款吗？

是同一家公司的，PHI 5000 Versaprobe II是多功能平台，X-ray可以最小至10μm，quantum2000 是quantera II的 前身，目前最小X-ray可以做到7.5μm。

PS，我才从香港科技园回来，嘿嘿。

还请帮忙，非常谢谢！

原文由 blackbeauty(blackbeauty) 发表:

原文由 bairuizheng(bairuizheng) 发表:
首先谢谢这位老师/专家的非常到位的专业回答。
1）X-ray功率100W是否是指运行X射线发生器的功率还是其它？

是指轰击Al阳极靶电子束的能量。

4）是在分辨Ag（0）和Ag（I）时用的带通能量，取这个值是否可以分出？最佳取多大？

Ag（0）峰位在368.2eV,Ag(I)的峰位会随与它结合的基团不同而变化，如果是Ag2S 或AgSO4就比较难分辨，如果你知道里面有金属Ag，可以先固定一个峰位，看看是否可以用分峰软件分出另外一个峰的位置。
5）如按老师您所说的可以窄过0.5eV, 那是所用0.59eV是否足以分开Ag（0）和Ag（I）？

两个峰挨的太紧，必须用分峰软件处理，可以尝试做做看，仪器自带的multipak软件可以做这样的工作。

测试在香港科技园。仪器：ESCA microprobe (Model: Quantum 2000, Manufacturer: Physical Electronics)。是否和老师说的PHI 5000 Versaprobe II型是一款吗？

是同一家公司的，PHI 5000 Versaprobe II是多功能平台，X-ray可以最小至10μm，quantum2000 是quantera II的 前身，目前最小X-ray可以做到7.5μm。

PS，我才从香港科技园回来，嘿嘿。

还请帮忙，非常谢谢！

非常谢谢！

我现在在科技园，您在来科技园，我请您吃饭。祝愉快！