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主题：请问半绝缘材料的扫描电镜二次电子像与被测材料的电阻率分布变化有关吗？

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发表于：2003/10/11 13:39:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问半绝缘材料的扫描电镜二次电子像与被测材料的电阻率分布变化有关吗？
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2003/10/11 19:00:50 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有影响，如果样品的电阻率太大，在电子束作用下会产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降。因此这类试样在观察前要喷镀导电层进行处理，通常采用二次电子发射系数较高的金银或碳膜做导电层，膜厚控制在20nm左右。
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shxie
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2005/6/6 14:37:25 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充上面的，注意如果是场发射电镜，由于会有Pt或者Au的岛产生，所以最好喷C
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