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主题：请问 有人做过氧化亚铜的深度剖析吗?是不是刻蚀速率很慢

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ligroin
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发表于：2006/07/03 17:30:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同样的操作参数我做ZnO膜刻蚀大约2nm/min,但是一个据说是几十nm厚的氧化亚铜层刻了将近100min也没刻完,不知是不是这种材料比较难于刻蚀呀?多谢
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2006/7/4 23:14:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很慢的
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feixiong5134
feixiong5134
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2006/7/8 17:08:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我上一次做标样刻蚀了近1.5个小时。
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手机版： 请问 有人做过氧化亚铜的深度剖析吗?是不是刻蚀速率很慢
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