主题：【求助】想问问关于离子泵方面的注意事项。。。求帮助解答

原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
刚才搜到一些关于离子泵的数据：

不知道，离子泵在真空从2E-7pa降到4E-7pa，会做些什么动作，假如说有保护性的停止，在间隔不到一分钟点击pump重新启动，它又会在4E-4pa到1E-5pa做些什么烧坏动作呢。。。具体烧坏的东西是什么哈，是不锈钢的阳极，还是钛阴极，还是电源。。。离子泵现在就是温温的。。。估计是坏了。。。这连锁反应哈。。。为什么么不提前就换civ阀哈，正好碰上了我这个菜鸟导致悲剧。。。

原文由 asahi42(asahi42) 发表:

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刚才搜到一些关于离子泵的数据：

不知道，离子泵在真空从2E-7pa降到4E-7pa，会做些什么动作，假如说有保护性的停止，在间隔不到一分钟点击pump重新启动，它又会在4E-4pa到1E-5pa做些什么烧坏动作呢。。。具体烧坏的东西是什么哈，是不锈钢的阳极，还是钛阴极，还是电源。。。离子泵现在就是温温的。。。估计是坏了。。。这连锁反应哈。。。为什么么不提前就换civ阀哈，正好碰上了我这个菜鸟导致悲剧。。。

刚才搜到的资料，可是我在3E-4PA情况下，重新点的pump（疑惑点：1.机器在正常vent的情况下，离子泵会不会停止，2.离子泵保护性停止的压强参数是多少）

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“没想到一点vent，发现灯丝直接灭了（可能是因为灯丝真空太低的保护状态），然后看真空发现gun vacuum为4--e-4pa。。。”
出现上述现象本身就已经说明离子泵出现了问题。你在4e-4pa重新启动pump应该是允许的。因为离子泵的最低工作电压是1e-2pa。工程师给你讲的话有推卸嫌疑。

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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“没想到一点vent，发现灯丝直接灭了（可能是因为灯丝真空太低的保护状态），然后看真空发现gun vacuum为4--e-4pa。。。”
出现上述现象本身就已经说明离子泵出现了问题。你在4e-4pa重新启动pump应该是允许的。因为离子泵的最低工作电压是1e-2pa。工程师给你讲的话有推卸嫌疑。

恩，谢谢你的回答！因为对于离子泵的厂家型号不知道，所以不敢这样和他理论去说。。。但是你提到是离子泵出现了问题，感觉很新奇，因为他们这批电镜，他们自己承认civ（隔离阀）本身存在问题，因为之前存在过本来开着的灯丝，第二天上班发现是灭的这样的情况，所以他们已经把问题归咎到这个阀上面，而离子泵的问题，说是因为我pump抽坏的。。。刚开始，掉灯丝的原因，指定在真空问题上面，真空问题又涉及到，1.潘宁规的瞬间污染 2.civ阀漏气 。。。如果按你说是vent的那一刹那离子泵就出问题了，不知道是怎么判断的？

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

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“没想到一点vent，发现灯丝直接灭了（可能是因为灯丝真空太低的保护状态），然后看真空发现gun vacuum为4--e-4pa。。。”
出现上述现象本身就已经说明离子泵出现了问题。你在4e-4pa重新启动pump应该是允许的。因为离子泵的最低工作电压是1e-2pa。工程师给你讲的话有推卸嫌疑。

恩，谢谢你的回答！因为对于离子泵的厂家型号不知道，所以不敢这样和他理论去说。。。但是你提到是离子泵出现了问题，感觉很新奇，因为他们这批电镜，他们自己承认civ（隔离阀）本身存在问题，因为之前存在过本来开着的灯丝，第二天上班发现是灭的这样的情况，所以他们已经把问题归咎到这个阀上面，而离子泵的问题，说是因为我pump抽坏的。。。刚开始，掉灯丝的原因，指定在真空问题上面，真空问题又涉及到，1.潘宁规的瞬间污染 2.civ阀漏气 。。。如果按你说是vent的那一刹那离子泵就出问题了，不知道是怎么判断的？

因为离子泵最低工作压力是1e-2pa，你操作pump应该是允许的，他强调不能这样操作就说明他知道这个离子泵存在薄弱环节。