主题:【讨论】SEM中是否包含俄歇电子信息

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yinsh1212
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在电子束的激发下,样品表面在产生二次电子的同时,产生有俄歇电子,俄歇电子的能量在1000eV左右,那么在二次电子接收器接收二次电子的时候,是否也同时接收了俄歇电子。
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fengyonghe
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有,但数量极少,仅作为二次电子被检测。
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2010/7/9 1:28:32 Last edit by fengyonghe
medodo
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驰奔
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原文由 medodo(medodo) 发表:
10以上俄歇电子产量很低了


没怎么了解过俄歇电子。应用比较特殊。
永远的菜鸟
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毒菇九剑
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大雄
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yinsh1212
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俄歇电子的能量在1000eV左右,其能量与二次电子的能量相差不如背散射电子那么大,在二次电子检测器上的偏压左右下,个人觉得,应该会有一定量的俄歇电子被接收。当然如medodo所言,俄歇电子的产额在轻元素时,比较大,而随原子序数增大而下降。
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