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主题：单晶硅中间隙氧和代位碳检测国标有述，请问老师：如何直接检测多晶硅中的氧、碳含量。

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YUANJINMAN
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发表于：2003/11/23 10:37:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
单晶硅中间隙氧和代位碳检测国标有述，请问老师：如何直接检测多晶硅中的氧、碳含量。
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2003/11/23 19:51:57 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可考虑使用X荧光光谱法。               
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xsh1234567
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2008/3/25 9:22:55 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
貌似不行吧？多晶硅里面的碳氧含量不定，有高有低的，而且XRF又是一种严重半定量的工具，能测得准嘛？
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stcaptain
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2008/8/13 9:19:14 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
红外可以把！
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21克的爱
v2741821
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2013/8/22 18:34:31 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
红外是可以，但是你要先确定你的仪器所具备的条件是否能直接测量多晶硅。
1、你的红外测试仪具备检测多晶硅里氧碳含量的方法和对样的预处理的方法，还要有多晶硅的标片。
2、将多晶硅转换为单晶再进行测量这是最靠谱的。
3、你所说的可以直接测试多晶硅的氧碳含量的标准是什么呢？
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