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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：图像扫描到一半就变模糊了,怎么办?

浏览0 回复11 电梯直达

lucy2008

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发表于：2006/07/23 00:08:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

最近我在做电镜时经常出现扫描到一半左右前面的图形又开始变模糊了,辛辛苦苦调了半天,又要重新开始,这到底是怎么加事?谁来帮帮我啊?

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2006/7/23 13:19:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不会吧？扫描到最后定格，前面的图像应该就不变了啊，你是什么电镜，用的控制模式是不是有问题？

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2006/7/24 23:09:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sem99 发表:

最近我在做电镜时经常出现扫描到一半左右前面的图形又开始变模糊了,辛辛苦苦调了半天,又要重新开始,这到底是怎么加事?谁来帮帮我啊?

电子束的稳定性这么差，

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奔跑的蜗牛

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2006/7/25 14:59:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我不觉得是电子束稳定性的问题，版主说得好象是扫描完的前一半图像模糊，这问题有点怪异，请版主说得再仔细一点，困惑ING。。。。。。

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musun

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2006/7/25 20:18:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

重新扫啊，估计是聚焦坏了

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lucy2008

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2006/7/25 20:26:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

呵呵,不好意思,是我的描述有问题,是扫描的时候忽然就开始变形了,前面的图像还是清晰的,后面的就开始变模糊了.如果是电子束不稳定,那该怎么办?

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lucy2008

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2006/7/25 20:27:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用的是FEI的XL30

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扫描电镜分析

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2006/7/25 23:24:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

样品导电性不好时，如进行慢扫，开始时还好点，后来图象就可能要变形了。
楼主，对于导电性好的样品，也出现这种现象吗？

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lucy2008

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2006/7/26 22:25:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

是啊,导电性好的样品出现这种情况,这是怎么回事?

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sunnysky

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2006/7/27 10:12:00 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

先在快扫下观察，如果没问题，应该是慢扫扫描系统有问题，如果在快扫下图像发生漂移导致焦聚变化，先检查高压电子束系统，再检查扫描系统。建议先清洗一次镜筒

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奔跑的蜗牛

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2006/7/30 18:50:00 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sem99 发表:
呵呵,不好意思,是我的描述有问题,是扫描的时候忽然就开始变形了,前面的图像还是清晰的,后面的就开始变模糊了.如果是电子束不稳定,那该怎么办?

哈哈，我还在想呢，前一半已经扫完了怎么还会变模糊，可真是个要命的问题。
不过单从解决问题的角度来说，楼主描述得还是不够详细，
比如说，
XL30束流是不是稳定，这可以从操作界面上读出来，
用的是不是环扫的机型，
做的样品导电性怎么样，
末级光阑换个新的会不会好些（如果有的话，呵呵，如果没有，则要看看衬管里面是不是应该清洗一下了）
样品是不是足够稳定（换个合适的导电样品试试）
在什么样的倍数下才会出现这种情况，还是多大倍数都是这样。
单从模糊来讲也要问一下：
您所讲的不清楚指的是很模糊，一点点，完全看不了，扭曲变形还是聚焦不正，亮度对比度有没有变化。
问题只是ETD还是BSED也有。
另外，问题是突然出现的，还是逐渐出现的，与此同时，是不是有其他伴随状况发生，比如有没有高压打火的声音，真空度发生变化没有。
在问题发生以后，有没有采取过什么措施，后来结果怎么样了。

总的来讲，我觉得要想真正能给一点帮助，这个问题的描述真的有点不够详细。

有点罗嗦，请见谅，呵呵

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