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主题：岛津MS2020 真空离子规点不亮

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techine
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发表于：2013/09/27 14:12:48 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：10积分 状态： 已解决
自动抽真空后，离子规不工作，手动点开后，报错后又关闭。报错提示说真空不足。但是PG显示的真空已经稳定在几十Pa。
推荐答案：chemist_zm回复于2013/09/27
shutter堵上了吗，要是堵上行打开就不行，有可能是机械泵，要堵上也不行，有可能是turbo。
补充答案：

rizhaolilin回复于2013/10/02

可能有漏气吧，真空规只在达到一定的条件下才会点亮！

该帖子作者被版主 chy57589893加 2积分， 2经验，加分理由：鼓励
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2013/9/27 17:36:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
shutter堵上了吗，要是堵上行打开就不行，有可能是机械泵，要堵上也不行，有可能是turbo。
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2013/9/28 15:34:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我不知道2020的离子规在哪里，但是8030/8040的是在仪器里面的，不拆开前方机壳看不到
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2013/10/2 22:43:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能有漏气吧，真空规只在达到一定的条件下才会点亮！
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2013/10/2 22:45:30 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能有漏气吧，真空规只在达到一定的条件下才会点亮！
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ycsun2003
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2014/9/13 19:53:15 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空规是消耗品，你的PG插上shutter后5、6十是正常的，说明低真空没问题，在确定分子泵正常转动的话，很可能是IG规坏了。
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lostking2008
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2015/2/18 4:56:10 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最后怎么解决的？
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