主题：【求助】日本电子 JSM-6701F 请教

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
SEM在工作状态下WD和Z应该被Link成一致，否则既不安全，也不利于重复实验条件。
能谱要求大束流，大束流的代价是牺牲分辨率，因此不能指望在做能谱的条件下高倍得到理想的SEM照片。另外，因为能谱空间分辨率很差，2W倍的照片的能谱点分析没有什么可信度。

原文由 书生人家(书生人家) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
SEM在工作状态下WD和Z应该被Link成一致，否则既不安全，也不利于重复实验条件。
能谱要求大束流，大束流的代价是牺牲分辨率，因此不能指望在做能谱的条件下高倍得到理想的SEM照片。另外，因为能谱空间分辨率很差，2W倍的照片的能谱点分析没有什么可信度。

WD和Z轴不一致，这种现象是电镜的问题吗？我需要怎样调试呀？请指教

原文由 gsys(v2664607) 发表:
如果没记错的话，6701能谱的工作距离是15mm，在这个工作距离下能谱采集效率是最高的。该设备做能谱时必须要在这个工作距离下操作，所以如果你的工作距离偏离它，当然采集效率低！这么大的工作距离，6701两万倍还是可以清楚的，更大倍率有些麻烦！
楼上计算了一大堆，有些看不明白！激发直径是用蒙特卡罗模拟计算的吗？考虑的是单质元素？还有什么是所需的有效放大倍率和1000倍下的直径，另外，为什么在20000倍下直径要乘以20，定点才可靠？如果采用蒙特卡罗模拟，电子束最大扩展范围就是能谱能分析的最小范围啊

原文由 书生人家(书生人家) 发表:

原文由 gsys(v2664607) 发表:
如果没记错的话，6701能谱的工作距离是15mm，在这个工作距离下能谱采集效率是最高的。该设备做能谱时必须要在这个工作距离下操作，所以如果你的工作距离偏离它，当然采集效率低！这么大的工作距离，6701两万倍还是可以清楚的，更大倍率有些麻烦！
楼上计算了一大堆，有些看不明白！激发直径是用蒙特卡罗模拟计算的吗？考虑的是单质元素？还有什么是所需的有效放大倍率和1000倍下的直径，另外，为什么在20000倍下直径要乘以20，定点才可靠？如果采用蒙特卡罗模拟，电子束最大扩展范围就是能谱能分析的最小范围啊

我的能谱在工作距离为15mm，采集效率低，在9.6mm的时候反而高，我已经试过很多样品都是这样的，好奇怪！