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主题：【求助】关于s-4800

浏览0 回复39 电梯直达
gaominghen
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发表于：2013/10/16 16:54:50 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问各位：

              4800安装的上下探头都是二次电子探头吗？还是别的什么探头？下探头能接受背散射电子，是不是下探头是BSED？上探头接收二次电子，是不是就是ETD？望达人指教，谢谢！
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fengyonghe
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2013/10/16 17:29:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EBSD 是这样的

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gaominghen
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2013/10/17 8:47:56 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我记得参加日立用户高级培训的时候，我问过他们的应用工程师：“4800上的下探头观察样品时，为什么会有立体感？”工程师说：“我觉得是下探头是从侧面收集信号的，因为是从侧面看的，所以会有凹凸感”。不知道她这样讲对不对？还有4800的下探头是不是BSED探头？谢谢老师！
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mitchell_dyzy
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2013/10/17 11:15:27 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上探头是In-lens，不同厂家的仪器，叫法有点不一样，功能类似与TLD？下探头类似于ETD？

下探头应该不是背散射探头，ETD也可以接受背散射电子，一般成像也是混合成像85%SE+15%BSE

这个asahi42应该很清楚，两家都待过。打问号的是我的猜测，不确定。
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2013/10/17 11:19:29 Last edit by mitchell_dyzy
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2013/10/17 14:18:11 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还是不太清楚，asahi42老师进来解答下呢？
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fengyonghe
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2013/10/17 17:19:56 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。
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gaominghen
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2013/10/18 14:22:37 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。


下面是一段asahi42老师说的原话：4800的上探头接受的绝大部分是SE，下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时，SE模式接收SE1和SE2，BSE（LV1~LV100）模式接收SE3。
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2013/10/18 14:25:16 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。


下面是一段asahi42老师说的原话：4800的上探头接受的绝大部分是SE，下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时，SE模式接收SE1和SE2，BSE（LV1~LV100）模式接收SE3。


这个不知道该怎么理解，求教。懵了！
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fengyonghe
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2013/10/18 17:30:52 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。


下面是一段asahi42老师说的原话：4800的上探头接受的绝大部分是SE，下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时，SE模式接收SE1和SE2，BSE（LV1~LV100）模式接收SE3。


这个不知道该怎么理解，求教。懵了！


下探头立体感强，背散射无立体感，上探头立体感介于两者之间，是不是背散射电子的影响？
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asahi42
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2013/10/19 9:20:52 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。


下面是一段asahi42老师说的原话：4800的上探头接受的绝大部分是SE，下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时，SE模式接收SE1和SE2，BSE（LV1~LV100）模式接收SE3。


这个不知道该怎么理解，求教。懵了！


首先先明确定义三个概念：

电镜电子束（一次电子）在样品轰击点上直接激发出的SE，称为SE1；

一次电子与样品原子作用后发生偏转，偏转后的高能电子继续与样品别的位置的原子发生作用，产生SE，称为SE2；

SE1和SE2主要反映样品的表面形貌。

一次电子与样品作用，形成逸出样品表面的高能背散射电子。所有没有被探头接收到的高能BSE都有可能打到电镜样品仓内的其它部分，并以相同原理激发出SE信号，这类SE信号称为SE3。

SE3可以间接反映出当前扫描点上BSE信号量的大小。

然后请返回去看看是不是能够帮助理解~
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gaominghen
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2013/10/21 13:18:41 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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二次电子像的立体感来源于边缘效应，上探头因包含有背散射电子，立体感降低了。


下面是一段asahi42老师说的原话：4800的上探头接受的绝大部分是SE，下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时，SE模式接收SE1和SE2，BSE（LV1~LV100）模式接收SE3。


这个不知道该怎么理解，求教。懵了！


下探头立体感强，背散射无立体感，上探头立体感介于两者之间，是不是背散射电子的影响？


下探头的立体感要好于上探头，下探头主要接收背散射电子，而您说背散射电子无立体感，这不是矛盾吗？？？？？
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