主题：【求助】XRF和EDS应用领域？

原文由 guoluliuxin(guoluliuxin) 发表:
各位大侠，我们购买扫描电子显微镜，在考虑要不要购买EDS，因为领导说有意向要买X荧光光谱仪，担心这两个有冲突，请大家帮忙解答一下，这两种检测手段应用有没有什么区别？

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

但是据我所知，好像X荧光光谱仪测试成分更加准确一下，其测试下限比能谱仪要高？

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

原文由 sweetapple986(v2644276) 发表:

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EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

XRF没有分辨率一说哦，因为X射线不能像电子束一样被聚焦。相反，如果要说元素分辨率，XRF中的WDXRF比起EDS那是好太多了。

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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

EDS能做样品元素面分布图，可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。

XRF没有分辨率一说哦，因为X射线不能像电子束一样被聚焦。相反，如果要说元素分辨率，XRF中的WDXRF比起EDS那是好太多了。

你前一部分说的没错，XRF的束径最小也有0.1mm，没有资格谈分辨率，但是我们心中有数，它的分辨率大于0.1mm。正因为如此XRF中的WDX作为宏观分析精度高，其最小分析直径(分辨率)也是大于0.1mm。扫描电镜EDS的优势是对样品中的细小质点分析，所以XRF和EDS各有自己的应用领域，不能抬举一个否定一个。其实扫描电镜也可以装WDS。