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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】帮忙分析一下可能是何原因导致SEM图像的边缘出现很长的条纹

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fly-fall
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发表于：2009/07/28 03:11:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 已解决
一台LEO 1530扫描电镜，使用时间较长，之前一直工作稳定，一次突然真空抽不上去，拆解真空阀门后恢复，BAKING后投入正常使用，一小时后开始出现如图所示的情况，百思不得其解。LEO的工程师说是环境因素，觉得他说的不对...请各位兄弟们帮忙分析下原因~~~或者类似情况怎么处理，谢谢了。下面有些是LEO的，可以看到此现象极为严重。隔壁的S4700工作正常，图像清晰！






谢谢指出可能是高压问题的那位同学，虽然是在供应商之后指出的，还是十分感谢！
推荐答案：fengyonghe回复于2009/08/01

我的仪器出现这种情况时，扫描方式会在示波器上看到多余的调制波形
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2009/7/28 10:56:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
像是干扰。。。
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2009/7/28 12:14:53 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
干扰？能否具体点。周围的环境没有任何的变化...BAKING后的真空度也很好！而且INLENS and SE2像下都有这样的条纹存在，改变降噪方式为LINE，N=12后有所好转...但以前都是设为PIXEL AVG的。INLENS 和SE2有点类似明场和暗场的分别...是LEO自己的称呼。会不会是透镜或者CCD？
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2009/7/28 12:37:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fly-fall 发表:
干扰？能否具体点。周围的环境没有任何的变化...BAKING后的真空度也很好！而且INLENS and SE2像下都有这样的条纹存在，改变降噪方式为LINE，N=12后有所好转...但以前都是设为PIXEL AVG的。INLENS 和SE2有点类似明场和暗场的分别...是LEO自己的称呼。会不会是透镜或者CCD？

在你的电网上有大功率可控硅在运行，以前可能没有。
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2009/7/28 21:10:06 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这位兄弟说的不太可能，这些都是独立的供电，没有特意在LEO上附加任何整流器或别的器件。而且，同一实验室还有两台S4700型冷场发射电镜，都工作正常...没有发现这种干扰现象。
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2009/7/28 23:46:52 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fly-fall 发表:
这位兄弟说的不太可能，这些都是独立的供电，没有特意在LEO上附加任何整流器或别的器件。而且，同一实验室还有两台S4700型冷场发射电镜，都工作正常...没有发现这种干扰现象。

都是经验之谈，不一定都适用，我的仪器是这样的。可控硅离电镜大约几十米，使用同一台变压器。干扰条文完全相同。
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2009/7/29 8:50:20 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了
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2009/7/29 16:33:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fly-fall 发表:
OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了
个人同意这说法
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fly-fall
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2009/7/29 20:06:10 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
明天说会带台仪器过来测量一下磁场，拭目以待中...呵呵，和VENDOR一起成长了。
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2009/7/30 12:43:35 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fly-fall 发表:
OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了

现在你的问题还解决了?
这个问题我也没有遇到过.JEOL的工程师也讲过电子枪的不当调整有可能会导致一些干扰.
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2009/7/31 9:41:07 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fly-fall 发表:
明天说会带台仪器过来测量一下磁场，拭目以待中...呵呵，和VENDOR一起成长了。

查到资料上有如下说法：仪器高压发生器不稳定，其振荡频率偏离正常值。可产生这种斜纹干扰。
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