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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：请问聚合物做SEM用不用先喷金或碳？想得到很高的分辨率，10纳米左右吧！

浏览0 回复11 电梯直达
六脉神剑
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发表于：2006/08/18 09:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问聚合物做SEM用不用先喷金或碳？想得到很高的分辨率，10纳米左右吧！
请各位大侠指教！
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2006/8/18 13:12:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
POLYMER不coating 是不行的，
镀金还是镀碳是考虑到放大倍数
如果观察到近百万倍，coating的金粒都看到了
镀碳则不会又这样的表面形貌改变
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小石头
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2006/8/18 13:17:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Hitachi生产的Super SEM准备样品时就是镀碳的
从来不镀金
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扫描电镜分析
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2006/8/18 13:18:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、聚合物是颗粒团簇还是线状？既然在10纳米左右，要看清估计要在50K或更高的倍率。这时电子束斑通常温度较高，有的聚合物可能会很快因温度较高而变形。
2、如样品是颗粒团簇，喷金后在样品表面形成的金颗粒通常在5纳米左右（我们的喷金设备是这样的效果），可能要影响样品原来形貌观测，因为它们大小相近。
建议测试前聚合物样品一定要烘干处理，喷金别喷厚了，测试倍率不必太高。
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小石头
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2006/8/19 9:59:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问为何50K倍的时候电子束温度较高？
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六脉神剑
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2006/8/23 21:14:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 julibo 发表:
请问为何50K倍的时候电子束温度较高？

电子束有加热的功能,比如微电子工业中有时用到的电子束蒸发镀膜方法,就是利用电子束加热的作用.
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六脉神剑
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2006/8/23 21:17:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位的讨论好象没有给出好的解决办法,那么大家知道环境扫描电镜的分辨率能够满足这些要求吗?
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xlbmcr
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2006/8/28 21:53:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要求10纳米分辨率,还是有机物,不喷C,Au,无法作到
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六脉神剑
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2006/8/29 21:13:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xlbmcr 发表:
要求10纳米分辨率,还是有机物,不喷C,Au,无法作到

不知道你认为环扫能不能做到？
环境扫描我还没做
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六脉神剑
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2006/9/3 0:27:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题很着急，请大家帮帮忙，有经验的出主意，有资源的出资源。
谢过大家了！
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rema
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2006/9/4 10:08:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
环境扫描做这么高的分辨率,可够戗!
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