主题:【已应助】求文獻5篇

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【序号】:1
【作者】:姚吉升  唐三川  陈坚  王玺  周友元  黄军武 
【题名】:ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究
【期刊】:《中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集》
【年、卷、期、起止页码】:2002年
【全文链接】:http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-ZGZU200212001013.htm

【序号】:2
【作者】:李光哲 
【题名】:ITO靶材在黑化过程中面电阻波动的原因分析及解决方法
【期刊】:《真空》
【年、卷、期、起止页码】:1999年02期
【全文链接】:http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-ZKZK902.011.htm

【序号】:3
【作者】:姜鹤; 王东新; 王燕昌; 孙本双; 钟景明 
【题名】:ITO靶材的毒化机理研究现状
【期刊】:湖南有色金属 
【年、卷、期、起止页码】:2012年01期
【全文链接】:http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-HNYJ201201015.htm

【序号】:4
【作者】:孔伟华 
【题名】:ITO靶材在磁控溅射过程中的毒化现象
【期刊】:无机材料学报
【年、卷、期、起止页码】:2002年05期
【全文链接】:http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-WGCL200205030.htm

【序号】:5
【作者】:侯俊峰; 李志友; 周科朝; 孙本双; 姜鹤; 
【题名】:掺锡氧化铟陶瓷靶材在直流磁控溅射过程中“结瘤”的形成与演化
【期刊】:人工晶体学报
【年、卷、期、起止页码】:2013年08期
【全文链接】:http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-RGJT201308023.htm

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