主题：【已应助】急求6300中200NM以下波长下降得很多，我应该从什么方向处理

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

您好，拍了一下全谱有氮线存在，您说照明光路的问题，需要做准直，我们今天已经做了准直，还是没有改善，我们还需要做哪些工作谢谢

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

您好，拍了一下全谱有氮线存在，您说照明光路的问题，需要做准直，我们今天已经做了准直，还是没有改善，我们还需要做哪些工作谢谢

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

您好，拍了一下全谱有氮线存在，您说照明光路的问题，需要做准直，我们今天已经做了准直，还是没有改善，我们还需要做哪些工作谢谢

我觉得可能是你通道挡片脏的可能性比较大，你把水平那一路的挡片拔出来看看，是不是脏了，如果是就用酒精清洗一下

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

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我觉得可能是你通道挡片脏的可能性比较大，你把水平那一路的挡片拔出来看看，是不是脏了，如果是就用酒精清洗一下

您好，水平那一路的挡片在哪里，我们没动过那里，能告诉我们怎么做吗，谢谢了

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

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你首先要确定是200nm以下，还是190nm以下或者其他？ 拍个全谱图看一看，能看到174nm附近的4个氮线么？如果能看到，那么CID的响应就没有问题，应该是照明光路的问题，需要重新做一下矩管准直。如果是这种情况，因为热电是分段曝光，应该不止200nm以下变弱，只要用UV-slit的波长都要变弱，具体是级次>300的波长。如果174nm四条谱线一点都看不到，那么可能是光室吹扫出了问题。

您好，拍了一下全谱有氮线存在，您说照明光路的问题，需要做准直，我们今天已经做了准直，还是没有改善，我们还需要做哪些工作谢谢