主题:【求助】SEM/EDS如何做特征检测?

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刺玫瑰
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公司刚买的SEM/EDS,我们是用Future软件跑颗粒的?有没有使用这个功能的亲啊?咨询一下:

1.跑颗粒要用标准样校准亮度和对比度,你们的标准样是怎么做的啊?为什么我每次标定的亮度和对比度都和上次差好多

2.死时间是如何设置的啊?要求死时间在45%-55%之间,但是现在我的死时间只有10%左右!
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你用的是什么SEM呢?
(1)跑颗粒的首先要注意的是每次的样品台和图像的角度为0,保证你每次测试的区域是一样的。
(2)在保证标准样校准亮度和对比度之前,首先要保证你的束流基本每次是一致的。
(3)调试死时间之前也要保证你的CPS值在一定范围之内,死时间的调试可以通过调试AMP的时间。
fengyonghe
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原文由 刺玫瑰(v2873855) 发表:
公司刚买的SEM/EDS,我们是用Future软件跑颗粒的?有没有使用这个功能的亲啊?咨询一下:

1.跑颗粒要用标准样校准亮度和对比度,你们的标准样是怎么做的啊?为什么我每次标定的亮度和对比度都和上次差好多

2.死时间是如何设置的啊?要求死时间在45%-55%之间,但是现在我的死时间只有10%左右!


1.是因为束流和上次的不一样

2.死时间不能设置,只能靠改变束流进行控制。高压不同计数率也不同
刺玫瑰
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原文由 UNM(v2942222) 发表:
你用的是什么SEM呢?
(1)跑颗粒的首先要注意的是每次的样品台和图像的角度为0,保证你每次测试的区域是一样的。
(2)在保证标准样校准亮度和对比度之前,首先要保证你的束流基本每次是一致的。

(3)调试死时间之前也要保证你的CPS值在一定范围之内,死时间的调试可以通过调试AMP的时间。


您说的好专业,我们就是刚参加了培训,只会使用软件现在。什么是束流啊?CPS值是什么东东啊?都不懂,见笑了了,呵呵
刺玫瑰
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原文由 UNM(v2942222) 发表:

应该是particle分析,也就是所谓的自动分析。


恩恩,是的!
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