主题:【求助】请教“加速电压,初级电子能量对于元素信号和分辨率的影响”

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allenren
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在做SEM时,如何选取加速电压?看了很多资料也没总结出规律。高手可否告知,电压的大与小,电子束能量的大与小,会影响到什么?比如分辨率,衬度,元素检出限等等。
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