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主题：【求助】电镜界面系统真空抽不上去

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xiehu
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发表于：2016/01/26 17:02:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天早上实验室，发现真空泵已经停止工作。电镜界面系统真空状态灰色，枪真空状态为黑色正常。重新PUMP，过几分钟真空泵就又自己停止工作。
请教大家，这种是什么情况？谢谢
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2016/1/27 16:28:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
什么品牌SEM，有查过分子泵有没有问题。
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fengyonghe
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2016/1/29 0:49:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵还是扩散泵？                                                                                                             
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2016/2/1 7:45:37 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哪个牌子的SEM？
有可能分子泵有问题了，我们的类似的问题，已经换过一个分子泵了。
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xiehu
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2016/2/2 9:51:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们这个是磁悬浮分子泵的，请问换一个分子泵得多少钱。
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xiehu
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2016/2/2 9:52:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
型号是蔡司的sigma场发射扫描电镜
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allen308
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2016/2/4 12:53:08 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这样的泵不便宜，咨询一下蔡司的工程师吧。
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xiehu
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2016/2/14 8:32:29 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好的，谢谢。
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