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主题：【已应助】EPC关后多久可以换隔垫

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安平
byron1111
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2014/10/12 22:22:41 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接按flow键，选择off，可以关闭电子流量控制模块。
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安平
byron1111
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2014/10/12 22:23:13 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
进样口内的气体会从split出口排空，速度较快。
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zyl3367898
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2014/10/14 17:07:52 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
直接按flow键，选择off，可以关闭电子流量控制模块。


可以一试。
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lsyecspc
liushuyong
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2014/10/15 8:41:13 24楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关闭进样口和检测器，压力应该很快降下来。
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zhaobo0712
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2014/10/16 18:12:31 25楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接把进样口压力关掉就可以了。
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