主题:【求助】ARL 4460真空度抽不上去,紧急求助

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lf8025
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各位大侠,我们使用的是ARL4460直读光谱仪,真空系统是膜泵+分子泵,今天突发状况,真空度报警,现场检查,分子泵无异常声音,正常运行,膜泵也能正常运转,开始半个小时真空度在31左右浮动,我尝试激发了几个点,发现真空度缓慢变化,现在已经升到119了,已经没办法进行正常的检测工作,请各位帮忙分析什么原因。
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