主题:【已应助】DSQ气质联用仪的前级真空压力下不来

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missle
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热电的DSQ,比较老的仪器了,前几天准备开机用一下,结果看到前级真空压力显示100000mtorr,而且抽了很长时间都没反应,后来打400电话,他们说可能是机械泵没油了,一看,确实是油不多,加了油,开机还是一样,又问他们,他们说开机前先按着真空腔上的玻璃板,或者拆下玻璃板用甲醇擦洗一下。于是照做,开机前先按着玻璃板。发现问题还是一样的。但是可以发现机械泵确实是在抽真空,因为我发现玻璃和真空腔之间的密封黑胶条压的越来越紧了。请问哪位高人指点一下,问题出在什么地方?
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ruan651209
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Turbo pump RPM错误

叶片在转么?有没有高频转动的声音?

ruan651209
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支点
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好像是没有得到反馈吧,至少RPM应该有数,先检查线连接线接头等是否松动,关机拔插一下。
ruan651209
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原文由 支点(zhx_fs_ln) 发表:
好像是没有得到反馈吧,至少RPM应该有数,先检查线连接线接头等是否松动,关机拔插一下。


T家的RPM是没有数的,要么OK,要么FAULT。
蓝是那么的天1188
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某个接口没有密封好,导致空气进入,真空度上不去。
千层峰
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前级真空压力显示100000mtorr.
如果抽真空正常,应该显示多少呢?
ruan651209
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30-50正常。

完全关闭载气,会小至近20。

质谱端接口一个0.1MM左右的漏点,前级会稳定在900左右。
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2015/1/15 9:55:35 Last edit by ruan651209
missle
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会不会是放空阀漏气呢?这台仪器之前就出现过怎么抽都达不到60mtorr,后来发现是放空阀脏了,有漏气。
千层峰
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原文由 missle(missle) 发表:

会不会是放空阀漏气呢?这台仪器之前就出现过怎么抽都达不到60mtorr,后来发现是放空阀脏了,有漏气。


还真有这个可能。放空阀不好检查啊。。
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