原文由 驰奔(srd2009) 发表:
原文由 linzq(linzq) 发表:
不得不说,你的技术确实很强。
不过随着对探头的理解加深,其实真正较为纯正的二次电子像应该是日立EXB系统的上探头可以获得,其他的所谓二次电子像都是混合像。而二次电子像其实并不能完整的表现物体的形貌,因为完整的空间形貌需要的是平面细节加空间细节,这也是扫描电镜的特色,二次电子像平面细节过多空间表现不好,因此我们实际上更需要这两种信号的复合。
林老师过奖了,
您说的这些值得思考,样品室的二次电子来源复杂,但也是最基本的表征手段。
电子束作用于样品表面产生各种信息(同时产生),对扫描电镜成像来讲主要是二次电子和背散射电子这两种信号。而这两种信号在样品表面产生区域还不一样,高角度的二次电子较低角度的二次电子来得多,这是由于溢出行程较短的缘故;背散射电子由于反射方位的缘由其产生区域分布正好反过来。这个结果造成往上方的信号二次电子较多背散射电子较少,而往两边的情况也正好反过来。因此上探头应该收获更多的二次电子而下探头获取的应该是较多的背散射电子,由于二次电子能量大大的小于背散射电子能量因此要在信号运行方向上将二次电子从背散射电子中分离是不可能的。而EXB系统是针对高角度信号从侧面给予混合信号一个电场力将信号较弱的二次电子从混合信号中吹离以此来达到二次电子和背散射电子的分离。当然EXB系统不只这一个作用,还有一个调控二次电子和背散射电子混合量的作用就是利用下极板控制二次电子进入镜筒的量来调节,当然它们让上探头接收背散射信号并不是直接背散射信号,因为它们的推力是无法将直接的背散射信号推向上探头,它们是将低角度背散射电子通过轰击下极板产生的二次电子推向上探头来反映背散射信息的。高角度背散射电子是需要特定的探头来接受也就是所谓的顶探头。
所谓的背散射电子探头是半导体材料,其激发能要求较高,这样就无形中将二次电子和背散射电子进行分离。
所谓的二次电子探头都是光电转换探头,其特点是信号反应时间短,激发能较低,放大能力较强。因此较半导体探头容易接收到二次电子,而它本身对背散射电子和二次电子不产生分离的作用,只能全部接收下来。所以说下探头接收的是混合信号,随着位置的不同,二次电子和背散射电子的含量也会不一样。关于探头位置设计也是一门学问,顶级电镜厂家都是由专门的人员进行研究设计概不外传。作为操作人员也可以通过工作距离的调整来调节各探头对信号的接收程度来获取自己想要的信息,但是这要求我们改变过去的思维方式,目前国内很少有人认识到这一点。