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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【已应助】用SEM的BSE看合金相的问题

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dwaynecheung
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发表于：2015/02/25 13:13:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家好，最近在用SEM（FEI helios 660）看磁钢的phase(样品为块体，经过磁化热处理和抛光，不能腐蚀)。发现分辨率特别不好（看锡球时可以放到100万倍，看着也比较清楚），也看不到Fe-Co相和Al-Ni相。用SE只能看到一些表面的杂质，用BSE看不到相。镀金增加导电性分辨率也没有带来明显的改善。经过计算，两相对比为10%左右，书上说对比大于10%时较容易看到，1-10%时需要用一些技巧，请问大家知道有什么技巧吗？第二个问题是磁场到底对SEM图像的质量到底有什么影响？有人说对SEM仪器有害，有人说对分辨率有影响，有人说只影响象散。我看仪器关于表征磁性材料的说明，对于块体而言采用magnetic immersion mode可以得到较好的图像，样品的尺寸需要减小来减弱样品和final lens间的吸引（见附件），也没有说需要退磁。分辨率的问题我怀疑是磁场的关系，相的问题可能是两相对比度不够。希望大家来讨论讨论。非常感谢。
附件：
imaging magnetic materials with helios nanolab.pdf
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fengyonghe
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2015/2/25 18:43:24 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜的安装环境对磁场是有严格要求的，现在你把磁场装在了电镜内部，结果就是你看到的。
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dwaynecheung
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2015/2/26 0:29:33 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常感谢，对于分辨率，我觉得磁场的可能性最大，因为样品好像聚焦不行。请问对相的对比有什么建议吗？
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2015/2/27 13:15:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dwaynecheung(dwaynecheung) 发表:
非常感谢，对于分辨率，我觉得磁场的可能性最大，因为样品好像聚焦不行。请问对相的对比有什么建议吗？


对比度，也称为衬度。能看到多少衬度不是由样品决定的而是由电镜观察条件决定的，目前场发射电镜能看到的最小衬度是0.5。
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fengyonghe
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2015/2/27 13:45:47 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对比度也称衬度，能观察到多少衬度不是由样品决定的而是由电镜观察条件决定的，场发射电镜能观察到0.5的衬度。
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小M
mitchell_dyzy
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2015/3/31 13:24:40 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、关于提高BSE衬度，可以进行一些尝试，提高加速电压、增大束斑（配合），减小亮度、增大对比度（配合）
2、样品的磁性的影响主要是象散，有磁性的样品象散大，比较难调一点。magnetic immersion mode会在样品仓内施加磁场，如果样品有磁性，可能会被吸引到final lense或极靴上，导致机械损坏，所以“样品的尺寸需要减小来减弱样品和final lens间的吸引”
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