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主题：【讨论】高真空显示不正常（未就绪？），怎么办？7890A-5975C。

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symmacros
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发表于：2015/04/07 09:34:11 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
刚开机分子泵就达到100%，但开机1小时多，高真空显示为9.99e+09，真空规指示灯为橙红色，高真空显示不正常（未就绪？），怎么办？7890A-5975C。
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2015/4/9 15:13:35 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哦，是不是上次关机放空 没有正常操作，一开机分子泵就达到100%就不正常，建议关机重新执行放空操作，检查氦气载气，重新开机。
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symmacros
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2015/4/9 15:58:31 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 langyabeilei(langyabeilei) 发表:
哦，是不是上次关机放空 没有正常操作，一开机分子泵就达到100%就不正常，建议关机重新执行放空操作，检查氦气载气，重新开机。
上次关机放空是正常进行的，开机后分子泵很快达到100%，只是真空度显示不正常。你的建议是不错的。
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花开见我
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2015/4/9 16:03:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子泵转速显示会有异常吗？
我开机通常会看转速，看着转速慢慢上升到100%，然后就认为是正常开机了。
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2015/4/9 16:29:34 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 花开见我(cai008) 发表:
分子泵转速显示会有异常吗？
我开机通常会看转速，看着转速慢慢上升到100%，然后就认为是正常开机了。
分子泵转速是正常的，并且加速很快。
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lidong2
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2015/4/9 17:35:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个我也遇到了，暂时不知道什么原因
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lidong2
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2015/4/9 17:41:13 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是通讯冗余吧，点击抽真空之后和MS接口重新通讯就恢复正常了
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