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主题：【已应助】离子减薄仪抽真空的绿灯不亮，是分子泵的问题吗？

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叽哩哩咕噜噜什么的
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发表于：2015/04/23 10:59:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
gatan691，样品放入时抽真空的过程中绿灯不亮，是不是分子泵的问题，或是漏气，有没有人遇到过这样的情况。
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2015/4/23 19:35:25 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们刚发生了这种情况，是样品腔上边的盖子的某一个橡皮圈老化漏气了。
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洪星二锅头
coime
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2015/4/24 8:08:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如楼上所说，检查一下仪器样品室的O圈，抹点真空脂
预抽时用手按住，给一个外加的力，试试能不能抽起来
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