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1．氩气不纯：当氩气中含有氧和水蒸汽时，使激发斑点变坏，分析结果变差。
2．试样要求表面平整，当试样放在样品激发台上时，不能有漏气现象。
3．分析样品与控制标样的磨纹粗细要一致，不可有交叉纹，磨样用力不要过大，而且用力要均匀，要力求操作一致，用力过大，容易造成试料表面氧化。
4．对高镍铬钢磨样时，要使用新砂轮片磨样，磨纹操作更加要求严格。
5．试样不能有偏析、裂纹、气孔等缺陷，试料要有一定代表性。
6．钨电极的顶尖应当具有一定角度使光轴不得偏离中心。放电间隙应当保持不变，否则聚焦在分光仪的谱线强度会改变。重复放电以后，钨电极会长尖，改变间隙放电距离。
7．透镜内表面用来保持真空，常常受到来自真空泵油蒸汽的污染：外表面受到分析时产生金属蒸汽的附着。使透过率明显的降低，对≤200nm的碳、硫、磷谱线的透过率
很显著降低，工作曲线的斜率降低，所以聚光镜要进行定期清理。
8．真空度不够会降低分析灵敏度，特别是分析特征波长≤200nm的元素更明显。
9．出射狭缝的位置变化受温度的影响最大，因此保持分光室内的恒温系统30±0.1℃很重要，还要求室内保持温度一致，使出射狭缝很难偏离。
10．电源电压变化容易引起激发单元的放电电压的改变，所以电源电压要求波动范围10％以内。
11．温度和湿度的变化。湿度大容易产生高压元件的漏电、放电现象，使分析结果产生不稳定。
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