【序号】:1
【作者】:
刘萌【题名】:阴极电弧蒸发源放电机理的研究
【期刊】:东北大学
【年、卷、期、起止页码】:
2012【全文链接】:http://cnki.hilib.com/KCMS/detail/detail.aspx?filename=1015556882.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2015
【序号】:2
【作者】:赵金艳
【题名】:等离子体增强溅射技术中辅助阳极性能研究
【期刊】:东北大学
【年、卷、期、起止页码】: 2012
【全文链接】:http://cnki.hilib.com/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&QueryID=13&CurRec=5&dbname=CMFDLAST2015&filename=1015556899.nh
【序号】:3
【作者】:黄英; 李建军; 张以忱; 李傲;
【题名】:直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化
【期刊】:真空科学与技术学报
【年、卷、期、起止页码】: 2014 (11)
【全文链接】:http://cnki.hilib.com/KCMS/detail/detail.aspx?filename=ZKKX201411014&dbcode=CJFD&dbname=CJFD2014
【序号】:4
【作者】: 刘佳明
【题名】:考夫曼离子源等离子体模拟与结构改进
【期刊】:东北大学
【年、卷、期、起止页码】: 2012
【全文链接】:http://cnki.hilib.com/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&QueryID=13&CurRec=1&dbname=CMFDLAST2015&filename=1015552444.nh
【序号】:5
【作者】:
张以忱; 张国庆; 赵金艳;【题名】:
等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化【期刊】:
2013年真空工程学术会议【年、卷、期、起止页码】:
2013【全文链接】:http://wx.xast.cn/KCMS/detail/detailall.aspx?filename=zgzu201309001041&dbcode=IPFD&dbname=IPFD2013