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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】SEM扫描电镜量测功能的精度有标准吗？

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hanliuhanliu911
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发表于：2015/10/22 15:48:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM扫描电镜量测功能的精度，这个有标准吗？
如果使用标样校正的话，误差多少？
能控制在5%以内吗？
谢谢！
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fengyonghe
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2015/10/22 22:36:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜测长的常用方法标准
常用的与扫描电镜测长直接有关的标准有以下几个：
    微米级长度的扫描电镜测量方法（GB/T 16594-94）
      金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(GB/T 12334-2001)
纳米级长度的扫描电镜测量方法 (国家标准讨论稿 )
常用的与测长间接有关，而与扫描电镜检定直接有关的标准有以下一些，主要用于扫描电镜的检定，包括分辩力的检验和放大倍率的校验。
  扫描电子显微镜试行检定规程 (JJG（教委） 550-88)
分析型扫描电子显微镜检定规程（JJG（教委） 011－ 1996）
电子探针分析仪的检测方法（ GB/T15075-94）
  微束分析－扫描电镜－图像放大倍率校准导则（陈振宇译）
（周剑雄编写）。
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