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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】如何用EDS区分两个异质结构

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kuku5837

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发表于：2016/04/21 10:25:20 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

用的是2100的普通TEM（不带STEM的mapping), 经常有人问我如果两个十几个纳米的异质结复合在一块（比如TiO2/ZnO), 怎么用EDS区分开。如果是有STEM的线圈用线扫或mapping肯定没问题，关键是只有LaB6的点扫，问过牛津能谱的工程师一个光斑下去至少套住是20几个纳米的区域（不知道这个经验值从何而来，最小spot size不有0.5nm么？），那么区分这么小区域的元素是否就不可靠了，姑且不说还经常有Fe, Cr,Au的杂质元素出现。

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2016/4/22 21:35:14 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

期待专家解答

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洪星二锅头

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2016/4/23 21:39:37 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

十几个nm是可以区分的，2100有个eds模式，可以将光斑汇聚，最小是0.5nm，但是太小的光斑产生的信号也弱，eds误差很大，所以适当选择大一号的光斑，用eds做能谱时需要注意，轴一定要合好，eds和tem模式切换时，其中心位置最好是固定的，比如选择10nm的光斑，实际有效激发信号区域可能是20或30nm的区域

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2016/4/24 10:42:09 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
十几个nm是可以区分的，2100有个eds模式，可以将光斑汇聚，最小是0.5nm，但是太小的光斑产生的信号也弱，eds误差很大，所以适当选择大一号的光斑，用eds做能谱时需要注意，轴一定要合好，eds和tem模式切换时，其中心位置最好是固定的，比如选择10nm的光斑，实际有效激发信号区域可能是20或30nm的区域

谢谢解答，有点明白了，也就是说理论上0.5nm的光斑实际真正会聚到样品上的时候一般激发区会大一些，10nm，20nm的光斑同样也会如此，“

用eds做能谱时需要注意，轴一定要合好，eds和tem模式切换时，其中心位置最好是固定的”，这一点实际在做的时候，TEM模式已对中好，切换到EDS的时候中心位置总会有点偏，那么再在EDS模式合轴应该不会影响到TEM的合轴了吧，EDS下的合轴与TEM有何区别，一般要注意哪些要点？TEM模式下我们常做的就是聚光镜光阑的对中，偶尔1-5合轴

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洪星二锅头

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2016/4/25 9:29:29 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

最重要的是电压中心，EDS模式下能调的是电压中心和象散

如果中心位置会偏的话，找聚焦光斑的时候要注意中心是否是你要观察的区域

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2016/4/25 9:44:47 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
最重要的是电压中心，EDS模式下能调的是电压中心和象散

如果中心位置会偏的话，找聚焦光斑的时候要注意中心是否是你要观察的区域

谢谢，但之前的聚光镜合轴还是需要做的吧，做完之后再调Z轴高度和电压中心，是这样否，这个不会再影响到TEM下的合轴吧

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洪星二锅头

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2016/4/26 11:58:29 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在TEM模式按正常步骤合轴后，eds下不要聚光镜合轴，如果调整z轴肯定会影响tem模式的，聚光镜和象散是需要两个模式下切换调整。其实eds和cbed模式相似，可以按照cbed模式的方式来条件。

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2016/4/26 16:10:40 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
在TEM模式按正常步骤合轴后，eds下不要聚光镜合轴，如果调整z轴肯定会影响tem模式的，聚光镜和象散是需要两个模式下切换调整。其实eds和cbed模式相似，可以按照cbed模式的方式来条件。

我实际也是对照类似CBED的模式来做的EDS, 一般选择比较小的会聚角，有个疑问在于怎么选择合适的spot size和会聚角，有人说大会聚角也能增大束流，增加信号强度，这个可信否？但是增大spot size好像也有类似效果，这个spot size理论上对应的到底是什么值？是最小光斑的大小么，感觉又不是

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